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潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產的濕度范圍為35—45%。大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求,不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求,而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。
賽達凈化堅持秉承以科技為先導、以市場為導向的科學管理理念,憑借規(guī)范化管理及專業(yè)的技術力量在食品、藥品、化妝品、微電子等諸多工業(yè)領域設計承建了潔凈SC廠房、GMP廠房、無菌室、實驗室及相關配套產品。我們的宗旨:專業(yè)!誠信!高效!
傳遞窗分為標準傳遞窗和風淋傳遞窗。標準傳遞窗主要用于潔凈室與非潔凈室之間物品傳遞,以減少開門的次數,是有效減少潔凈室與非潔凈室交叉污染較好的凈化設備。傳遞窗門均為雙門互鎖,(即一次只能打開一扇門,打開一扇門之后,另一扇門就不能打開)。 傳遞窗根據箱體材質不同可分為:不銹鋼傳遞窗、外鋼板內不銹鋼傳遞窗等。傳遞窗還可選配殺菌燈(8W),對講機等??尚旭?-2噸叉車,重手推車等,尤其適用于一樓及凹凸不平之地面。
特性:擁有環(huán)氧樹脂地板的一切優(yōu)異性能,可快速排泄靜電電荷、防靜電效力持久、表面電阻率達到10?5-109Ω、地面電阻排泄符合國際GB6650-86A標準。
適用范圍:生物工程車間、電子、微電子車間、無塵凈化室、電子元件生產區(qū)、半導體車間SMT、邦定車間等。