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正性光刻膠
正性光刻膠
正性光刻膠也稱為正膠。正性光刻膠樹(shù)脂是一種叫做線性酚醛樹(shù)脂的酚醛甲醛,提供光刻膠的粘附性、化學(xué)抗蝕性,當(dāng)沒(méi)有溶解存在時(shí),線性酚醛樹(shù)脂會(huì)溶解在顯影液中,感光劑是光敏化合物,常見(jiàn)的是重氮萘醌(DNQ)。在曝光前,DNQ是一種強(qiáng)烈的溶解,降低樹(shù)脂的溶解速度。在紫外曝光后,DNQ在光刻膠中化學(xué)分解,成為溶解度增強(qiáng)劑,大幅提高顯影液中的溶解度因子至100或者更高。這種曝光反應(yīng)會(huì)在DNQ中產(chǎn)生羧酸,它在顯影液中溶解度很高。同種厚度的正負(fù)膠,在對(duì)于抗?jié)穹ê透g性方面負(fù)膠更勝一籌,正膠難以企及。正性光刻膠具有很好的對(duì)比度,所以生成的圖形具有良好的分辨率。
光刻膠國(guó)際化發(fā)展
業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為,按照現(xiàn)在“單打獨(dú)斗”的研發(fā)路徑,肯定不行。相關(guān)部門要加大產(chǎn)業(yè)政策的配套支持力度,應(yīng)從加快完善整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈出發(fā),定向梳理國(guó)內(nèi)缺失的、產(chǎn)業(yè)依賴度高的關(guān)鍵核心電子化學(xué)品,要針對(duì)電子化學(xué)品開(kāi)發(fā)難度高,檢測(cè)設(shè)備要求高的特點(diǎn),組織匯聚一些優(yōu)勢(shì)企業(yè)和,形成一個(gè)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟,國(guó)家建立一個(gè)生產(chǎn)應(yīng)用平臺(tái),集中力量突破一些關(guān)鍵技術(shù)。2μm品牌產(chǎn)地型號(hào)厚度耐熱溫度應(yīng)用Futurrex美國(guó)PR1-500A0。
江蘇博硯電子科技有限公司董事長(zhǎng)宗健表示,光刻膠要真正實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,難度很大。問(wèn)題是國(guó)內(nèi)缺乏生產(chǎn)光刻膠所需的原材料,致使現(xiàn)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品碳分散工藝不成熟、碳漿材料不配套。而作為生產(chǎn)光刻膠重要的色漿,至今依賴日本。前道工藝出了問(wèn)題,保證不了科研與生產(chǎn),光刻膠國(guó)產(chǎn)化就無(wú)期。光刻工藝重要性二光刻膠的曝光波長(zhǎng)由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13。因此,必須通過(guò)科研單位、生產(chǎn)企業(yè)的協(xié)同創(chuàng)新,盡快取得突破。
有提出,盡管國(guó)產(chǎn)光刻膠在面板一時(shí)用不起來(lái),但還是要從政策上鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)普通面板的生產(chǎn)企業(yè)盡快用起來(lái)。只有在應(yīng)用過(guò)程中才能發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,解決問(wèn)題,不斷提升技術(shù)、工藝與產(chǎn)品水平,實(shí)現(xiàn)我國(guó)關(guān)鍵電子化學(xué)品材料的國(guó)產(chǎn)化,完善我國(guó)集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈,滿足國(guó)家和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的需求。在半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域,隨著汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等發(fā)展,會(huì)在一定程度上增加對(duì)G線、I線的需求,利好G線、I線等生產(chǎn)企業(yè)。
NR77-20000PYNR7 6000P光刻膠價(jià)格
光刻膠存儲(chǔ)條件及操作防護(hù)
光刻膠是一種可燃液體,儲(chǔ)存條件應(yīng)符合對(duì)應(yīng)的法規(guī),不要與強(qiáng)氧化劑混合,存放在通風(fēng)良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。
個(gè)人防護(hù)
眼睛:佩戴化學(xué)飛濺護(hù)目鏡。
皮膚:戴上適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)手套防止皮膚暴露。
服裝:穿戴合適的防護(hù)服防止皮膚暴露。
呼吸器:無(wú)論何時(shí)在工作環(huán)境下呼吸保護(hù)必須遵循中國(guó)職業(yè)安全健康管理局標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定和ANSI美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)Z88.2的相關(guān)要求,或必須執(zhí)行歐洲呼吸防護(hù)EN 149的標(biāo)準(zhǔn)。
NR77-20000PMSDS
光刻膠運(yùn)輸標(biāo)識(shí)及注意事項(xiàng)
標(biāo)簽上標(biāo)明的意思
R標(biāo)識(shí)
R10 YI燃。
S標(biāo)識(shí)
S16 遠(yuǎn)離火源-禁止吸煙。
S 24 避免接觸皮膚。
S 33對(duì)靜電放電采取預(yù)防措施。
S 9 將容器保持在通風(fēng)良好的地方。
水生毒性
通過(guò)自然環(huán)境中的化學(xué)、光化學(xué)和微生物降解來(lái)分解。一般不通過(guò)水解降解。300 ppm對(duì)水生生物是安全的。鹵化反應(yīng)可能發(fā)生在水環(huán)境中。