X射線測厚儀結(jié)構(gòu)

一六 熒光測厚儀 十年以上研發(fā)團(tuán)隊(duì) 集研發(fā)生產(chǎn)銷售一體

元素分析范圍:氯(CI)- 鈾(U)   厚度分析范圍:各種元素及有機(jī)物

一次可同時分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um

（一）、外部結(jié)構(gòu)原理圖

X熒光做鍍層分析時，根據(jù)射線是至上而下照射樣品，還是至下而上照射樣品的方式，將X熒光分析儀的外部整體結(jié)構(gòu)分為：上照射和下照射兩種結(jié)構(gòu)。

（二）、各種外部結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)

1、上照射方式

   用于照射(激發(fā))的X射線是采用由上往下照射方式的設(shè)備稱為上照射儀器。此類設(shè)備的Z軸為可移動方式，用于確定射線照射光斑的焦點(diǎn)，確保測量的準(zhǔn)確性。

①、Z軸的移動方式

   根據(jù)Z軸的移動方式，分為自動和手動兩類；

自動型的設(shè)備完全由程序與自動控制裝置實(shí)現(xiàn)，其光斑對焦的重現(xiàn)性與準(zhǔn)確度都很高，而且使用非常簡便（一般是與圖像采集系統(tǒng)與控制系統(tǒng)相結(jié)合的方式），一般只需要用鼠標(biāo)在圖像上點(diǎn)擊一下即可定位。此類設(shè)備對于測試形狀各異的樣品非常方便，也是目前主流的分析設(shè)備類型。對于樣品可進(jìn)行連續(xù)多點(diǎn)測量，適合分析鍍層的厚度分布情況，并可以對樣品的復(fù)雜面進(jìn)行測量。

   手動型設(shè)備，一般需要用人觀察圖像的方式，根據(jù)參考斑點(diǎn)的位置，手動上下調(diào)節(jié)Z軸方向，以達(dá)到準(zhǔn)確對焦的目的。因此，往往在測試對象幾何結(jié)構(gòu)基本上沒有變化的情況下使用比較快捷。

②、X、Y軸水平移動方式

水平移動方式一般分為：無X、Y軸移動裝置；手動X、Y軸移動裝置；電動X、Y軸移動裝置；全程控自動X、Y軸移動裝置。

這幾類的設(shè)備都是根據(jù)客戶實(shí)際需要而設(shè)計(jì)的，例如：使用無X、Y軸移動裝置的也很多，結(jié)構(gòu)簡單，樣品水平移動完全靠手動移動，這種設(shè)備適合于樣品面積較大，定位比較容易的測試對象。  

江蘇一六儀器        X射線熒光測厚儀工作原理    

     當(dāng)原子受到X射線光子(原級X射線)或其他微觀粒子的激發(fā)使原子內(nèi)層電子電離而出現(xiàn)空位，原子內(nèi)層電子重新配位，較外層的電子躍遷到內(nèi)層電子空位，并同時出次級X射線光子，此即X射線熒光。較外層電子躍遷到內(nèi)層電子空位所釋放的能量等于兩電子能級的能量差，因此，X射線熒光的波長對不同元素是特征的，根據(jù)元素X射線熒光特征波長對元素做定性分析，根據(jù)元素釋放出來的熒光強(qiáng)度，來進(jìn)行定量分析如元素厚度或含量分析。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時，儀器自動輸出測試電流或測試信號。

   根據(jù)色散方式不同，X射線熒光分析儀相應(yīng)分為X射線熒光光譜儀(波長色散)和X射線熒光能譜儀(能量色散)。X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)、色散、探測、記錄及數(shù)據(jù)處理等單元組成。激發(fā)單元的作用是產(chǎn)生初級X射線。它由高壓發(fā)生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測角儀、分析晶體等部分組成。這個方法在完全了解樣品的構(gòu)成和元素種類前提，利用計(jì)算的各個熒光X射線強(qiáng)度的理論值，推測測定得到未知樣品各個元素的熒光X射線強(qiáng)度的組成一致。通過測角器以1∶2速度轉(zhuǎn)動分析晶體和探測器，可在不同的布拉格角位置上測得不同波長的X射線而作元素的定性分析。探測器的作用是將X射線光子能量轉(zhuǎn)化為電能，常用的有蓋格計(jì)數(shù)管、正比計(jì)數(shù)管、閃爍計(jì)數(shù)管、半導(dǎo)體探測器等。記錄單元由放大器、脈沖幅度分析器、顯示部分組成。通過定標(biāo)器的脈沖分析信號可以直接輸入計(jì)算機(jī)，進(jìn)行聯(lián)機(jī)處理而得到被測元素的含量。

江蘇一六儀器   X熒光光譜測厚儀 優(yōu)點(diǎn)    

X射線熒光能譜儀沒有復(fù)雜的分光系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡單。X射線激發(fā)源可用X射線發(fā)生器，也可用性同位素。能量色散用脈沖幅度分析器。探測器和記錄等與X射線熒光光譜儀相同。

    X射線熒光光譜儀和X射線熒光能譜儀各有優(yōu)缺點(diǎn)。前者分辨率高，對輕、重元素測定的適應(yīng)性廣。對高低含量的元素測定靈敏度均能滿足要求。后者的X射線探測的幾何效率可提高2～3數(shù)量級，靈敏度高。價(jià)格一直是客戶在購買時關(guān)心的問題，好質(zhì)量和售后服務(wù)的產(chǎn)品在價(jià)格上面往往比較高，所以客戶在選擇產(chǎn)品時選擇性價(jià)比高的就需要一定的了解，首先是品牌，其次是客戶調(diào)查，售后服務(wù)等?？梢詫δ芰糠秶軐挼腦射線同時進(jìn)行能量分辨(定性分析)和定量測定。對于能量小于2萬電子伏特左右的能譜的分辨率差。