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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外,還廣泛的應(yīng)用與像LCD,PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種,鉻版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分,基板和不透光材料。光刻版在使用過程中不可避免的會粘上灰塵、光刻膠等污染物,這些污染物的存在直接影響到光刻的效果?;逋ǔJ歉呒兌龋头瓷渎?,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。
一種具有保護環(huán)的光刻板,包括光刻板本體和設(shè)置在光刻板本體外圈的保護環(huán),所述保護環(huán)緊密圍在光刻板本體的外部邊緣處并將內(nèi)部的光刻板本體圍起,所述保護環(huán)上具有圓型開孔、直角型開孔與直線型開孔,所述直角型開孔設(shè)置在光刻板本體的轉(zhuǎn)角處,所述直線型開孔設(shè)置在光刻板本體的水平邊緣與豎直邊緣,所述圓型開孔設(shè)置在直角型開孔與直線型開孔的連接處。光掩模板或者光罩,曝光過程中的原始圖形的載體,通過曝光過程,這些圖形的信息將被傳遞到芯片上。
光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長,主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學透過率較高,熱膨脹率相對高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版