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鋼瓶的安全儲(chǔ)存、固定
氣瓶一般盛裝氣體、液化氣體或混合氣體。氣瓶充裝單位、氣瓶檢驗(yàn)單位、氣瓶使用單位(包括工廠、實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)院、學(xué)校、疾控中心、電子室、潔凈室、工業(yè)機(jī)構(gòu)等)、瓶裝氣體和氣瓶經(jīng)銷(xiāo)單位的氣瓶管理急需提高,應(yīng)加強(qiáng)對(duì)運(yùn)輸、儲(chǔ)存氣瓶的安全管理。原則是:
1. 有掌握氣瓶安全知識(shí)的專(zhuān)人負(fù)責(zé)氣瓶安全工作;
2. 制定相應(yīng)的安全管理制度;
3. 制定事故應(yīng)急處理措施,配備必要的防護(hù)用品;
4. 定期對(duì)氣瓶的儲(chǔ)存、運(yùn)輸(含裝卸)、經(jīng)銷(xiāo)和使用人員進(jìn)行安全技術(shù)教育。
隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級(jí)進(jìn)人到亞微米(小于1um)級(jí)以及深亞微米(小于0.18um)級(jí),這樣,對(duì)半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來(lái)越高,對(duì)這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達(dá)到ppb、ppt級(jí),塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對(duì)超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體制造的整個(gè)過(guò)程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周?chē)母g加工精度降低。
熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過(guò)吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價(jià)昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對(duì)其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。
環(huán)保產(chǎn)業(yè)投資力度加大為特種氣體行業(yè)發(fā)展提供巨大動(dòng)力
近年來(lái),隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速增長(zhǎng)、人們環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng)和環(huán)境保護(hù)工作力度的加大,中國(guó)環(huán)保產(chǎn)業(yè)取得了較大的發(fā)展。2017年,我國(guó)財(cái)政環(huán)境保護(hù)支出為4506億元,同比增長(zhǎng)16.75%。在國(guó)家和各級(jí)不斷加大重視并持續(xù)增加支出,以及伴隨著工業(yè)發(fā)展產(chǎn)生的大量市場(chǎng)需求等方面因素的作用下,中國(guó)城市環(huán)保行業(yè)始終保持較快增長(zhǎng)。
其中,作為環(huán)保產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán),與污水處理和大氣處理相比,中國(guó)目前固廢處理行業(yè)仍處于初始階段,產(chǎn)業(yè)化程度和市場(chǎng)集中度均非常低,投資規(guī)模的加大將為特種氣體行業(yè)的發(fā)展提供巨大的動(dòng)力。