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?氣瓶安全儲存的原則
氣瓶安全儲存的原則:
1. 應(yīng)置于倉庫儲存,須遵守國家危險品貯存法規(guī),氣瓶倉庫應(yīng)符合《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定,必須配備有知識的技術(shù)人員,其庫房和場所應(yīng)設(shè)專人管理,配備可靠的個人安全防護(hù)用品,并設(shè)置"危險"、“嚴(yán)禁煙火”的標(biāo)志。
2. 倉庫內(nèi)不得有地溝、暗道,不得明火和其他熱源,倉庫內(nèi)應(yīng)通風(fēng)、干燥、避免陽光直射;儲存?zhèn)}庫和儲存間應(yīng)有良好的通風(fēng)、降溫等設(shè)施,不得有地溝、暗道和底部通風(fēng)孔,并且嚴(yán)禁任何管線穿過,應(yīng)避免陽光直射,避開性射線源。應(yīng)保證氣瓶瓶體干燥。夏季應(yīng)防止曝曬。
3. 盛裝易起聚合反應(yīng)或分解反應(yīng)氣體的氣瓶,必須根據(jù)氣體的性質(zhì)控制倉庫內(nèi)的高溫度、規(guī)定儲存期限,并應(yīng)避開線源。
隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進(jìn)人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達(dá)到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質(zhì)對半導(dǎo)體制造的整個過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。
熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。
二氧化碳情況
川內(nèi)大型二氧化碳生產(chǎn)廠家中石化和美豐因為上游檢修停產(chǎn),眉山金象只生產(chǎn)食品級二氧化碳,現(xiàn)在成都的氣體充裝單位基本上都是從省外調(diào)貨,價格甚至在每噸1600元以上。
液氧情況
四川當(dāng)?shù)啬炒笮蜌怏w公司空分設(shè)備因為遭受雷擊而停產(chǎn),正在加緊搶修,至今仍未找到具體原因。彭州石化AP的空分現(xiàn)在也處在檢修階段,預(yù)計下月下旬恢復(fù)生產(chǎn)。這兩家企業(yè)每天的液氧生產(chǎn)量達(dá)到約3000噸左右,如果照此計算,也就是說目前成都市的液氧缺口每天差不多在3000噸左右,氣體圈子致電業(yè)內(nèi)人士了解到,成都市場液氧缺口少也在1500噸每天,因為石化沒有完全恢復(fù)用氣?,F(xiàn)在成都市使用液氧液氮的企業(yè)因買不到氣體而停產(chǎn)的企業(yè)預(yù)計接近三分之二,如果當(dāng)?shù)乜辗衷O(shè)備短期內(nèi)還是無法修好,成都的“氣荒”事件還會繼續(xù)惡化。據(jù)知情人士透露,當(dāng)?shù)氐囊貉跻旱獌r格都在2000元至2400元每噸,且貨源還相當(dāng)?shù)木o張,為了滿足客戶正常生產(chǎn)需要,當(dāng)?shù)貧怏w公司都在積極的想辦法,甚至不計成本從省外購買氣體,只因為要堅守對客戶的那份承諾!希望川內(nèi)廣大客戶理解和支持,更希望周邊省市的氣體企業(yè)能夠伸出援助之手和川內(nèi)氣體同仁共同合作,共同保障我國西南地區(qū)工業(yè)生產(chǎn)正常進(jìn)行。