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什么是高純氣體
高純氣體系指氣體中含較少雜質(zhì)氣氛(純度),微量水份(干燥度)污染物粒子的婁量保持在低限度,其粒度也應(yīng)是小的(潔凈度)。因此,對(duì)于高純氣體,純度、干燥度、潔凈是三項(xiàng)重要的標(biāo)度。特別是近10年來(lái),隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn),對(duì)高純氣體潔凈度的要求,其重要程度已不亞于對(duì)純度和干燥度有嚴(yán)格要求的用氣工藝,無(wú)一不對(duì)其中的粒子提?氣為惰性氣體,
氣為惰性氣體,對(duì)人體無(wú)直接危害。但是,如果工業(yè)使用后,產(chǎn)生的廢氣則對(duì)人體危害很大,會(huì)造成、眼部損壞等情況。雖然是惰性氣體,同時(shí)也是窒息性氣體,大量吸入會(huì)產(chǎn)生窒息。生產(chǎn)場(chǎng)所要通風(fēng),并且,從事與氣有關(guān)的技術(shù)人員,每年定期進(jìn)行職業(yè)病體檢,確保身體健康。本身無(wú)毒,但在高濃度時(shí)有窒息作用。當(dāng)空氣中氣濃度高于33%時(shí)就有窒息的危險(xiǎn)。當(dāng)氣濃度超過(guò)50%時(shí),出現(xiàn)嚴(yán)狀,濃度達(dá)到75%以上時(shí),能在數(shù)分鐘內(nèi)。液可以傷皮膚,眼部接觸可引起。