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氦質譜檢漏儀
北京科儀真空技術有限公司是國內新興的一家專業(yè)從事真空領域的高新技術企業(yè)。
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。熱管檢漏客戶案例:某電子股份公司,是世界IT產業(yè)500強之一,分公司及營業(yè)處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地,全球員工近90000人。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
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氦質譜檢漏儀的結構和工作原理
氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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氦氣檢漏的主要技術性能
1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng),生產節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據(jù)用戶生產工藝要求來設計,一般為平開門式、滑臺合箱式;
4.上下料采用機械手或機器人,正常生產時設備無需人工操作;
5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應存儲;
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動判斷,并對應放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設置不同等級密碼,更改設備參數(shù);
10.人機交互界面,觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù);
11.故障統(tǒng)計功能
12.系統(tǒng)采用配置和標準化設計制作,確保運行穩(wěn)定,性能可靠。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標,想了解更多產品信息您可撥打圖片上的電話進行咨詢!