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旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡介

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)

巴克專業(yè)定制旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)，自帶旋轉(zhuǎn)籃筐，籃筐承重力大，可同時對不同工件進(jìn)行噴淋清洗、噴淋漂洗等；旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)的優(yōu)勢在于旋轉(zhuǎn)籃筐可自由轉(zhuǎn)動，從而噴淋嘴可360度對工件進(jìn)行噴淋清洗，槽體內(nèi)部設(shè)計合理，清洗下來的污物，可隨清洗溶液一起排出槽體內(nèi)部，保證槽體內(nèi)部的潔凈度。

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因為化學(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時間比較短，對反應(yīng)需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少，對控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點越來越先進(jìn)，對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響，實際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

問1

  我們現(xiàn)在使用的清洗機(jī)IFU測試要求我們測試清洗機(jī)的每一層，而我們之前的測試只測試其中一層。按位置而言，中間層具有挑戰(zhàn)，所以如果中間層測試合格在我看來就代表所有層都合格。我想聽聽您的意見，清洗機(jī)做清洗測試，是否需要做清洗架的檢測，是否需要檢測每一層的性能？還是只需要檢測其中一層？

  答：要準(zhǔn)確得評估一臺清洗機(jī)的性能，一定要測試清洗機(jī)的每一層。清洗架是非常重要的設(shè)備，具有必須執(zhí)行的可移動部件和結(jié)構(gòu)。除頂層和底層外，清洗架每層都有噴淋臂。連接到艙體底部和頂部的噴淋臂為頂部和底部擱架提供水和機(jī)械清潔動作，其它架層的噴淋臂具有相同的功能。清洗架上還有與供水管線對齊的連接口。

清洗機(jī)工作原理：

清洗機(jī)是通過PLC集成系統(tǒng)來控制高壓水360度多角度對玻璃器皿進(jìn)行沖洗，并自動化控制水溫加熱、沖洗時間、沖洗次數(shù)等，并配以專用的酸、堿清洗劑等對各種實驗室玻璃器皿、手術(shù)器械等等進(jìn)行內(nèi)外表面的污漬以及各種化學(xué)殘留進(jìn)行清洗、消毒和干燥處理。

噴淋清洗在一個密封的工作腔內(nèi)一次完成化學(xué)清洗、去離子水沖洗、旋轉(zhuǎn)甩干等過程，減少了在每一步清洗過程中由于人為操作因素造成的影響。在噴淋清洗中由于旋轉(zhuǎn)和噴淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均勻，同時，接觸到硅片表面的溶液永遠(yuǎn)是新鮮的，這樣就可以做到通過工藝時間設(shè)置，控制硅片的清洗腐蝕效果，實現(xiàn)很好的一致性。