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濟(jì)南巴克超聲波科技有限公司是一家專業(yè)從事工業(yè)清洗設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),總部位于濟(jì)南市臨港開(kāi)發(fā)區(qū),標(biāo)準(zhǔn)化廠房面積13000余平方米。員工人數(shù):150余人,擁有工程技術(shù)人員20余人,新設(shè)備研發(fā)人員:10余人,售后人員:10余人。年產(chǎn)值4000多萬(wàn)元。
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡(jiǎn)介
旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)
1.平時(shí)放置時(shí)候,要時(shí)刻注意保持機(jī)器清潔,不使用時(shí)關(guān)掉電源;
2.機(jī)器的質(zhì)量雖然很好,機(jī)器不是耐撞產(chǎn)品,所以在使用時(shí)候,要避免對(duì)機(jī)器的碰撞或劇烈震動(dòng);
此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短,對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過(guò)程中所使用的化學(xué)試劑很少,對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。
隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來(lái)越先進(jìn),對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求,清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。
清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來(lái)越敏感,而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響,實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。
以下是清洗消毒機(jī)常規(guī)檢查的一些關(guān)鍵點(diǎn)
? 噴嘴無(wú)污染物或堵塞。如果有噴孔阻塞,水流和水壓將受到阻礙,從而影響清 洗機(jī)的性能。清洗機(jī)的水在清洗周期中是再循環(huán)的,其中攜帶的污染物可能停留在噴淋臂內(nèi)。噴淋臂需定期清潔。
? 噴淋臂上的出水孔朝著目標(biāo)表面。有的清洗機(jī)的噴淋臂在使用過(guò)程中松動(dòng)旋轉(zhuǎn),導(dǎo)致噴淋無(wú)法朝向器械。許多噴淋臂兩邊都有孔;這些孔可以調(diào)節(jié)朝上或朝下。
? 噴淋臂齊全:有的醫(yī)院的噴淋臂全部缺失但機(jī)器仍在使用。如果噴淋臂缺失清洗機(jī)無(wú)法正常運(yùn)轉(zhuǎn),因?yàn)樗畨汉蛧娝畷?huì)大大削弱機(jī)械清洗作用。如果噴淋臂缺失則不得使用該清洗機(jī)。
3.清洗工藝流程
3.1清洗機(jī)動(dòng)作描述:工件經(jīng)工人裝入清洗機(jī)入清洗腔→關(guān)閉密封門→雙手按下啟動(dòng)按鈕→噴淋管開(kāi)始工作→工作轉(zhuǎn)臺(tái)360度旋轉(zhuǎn)。)→清洗結(jié)束后管道自動(dòng)切換到吹氣系統(tǒng)→對(duì)工件進(jìn)行脈沖狀的切水處理→切水結(jié)束后密封門打開(kāi)→人工下料
適用:該設(shè)備適用于汽車、工程機(jī)械、航空航天等行業(yè)的各類結(jié)構(gòu)復(fù)雜五金零件、油泵閥體清洗。