離子屬刻蝕機的注意事項

創(chuàng)世威納——專業(yè)離子束刻蝕機供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

#.在設(shè)備工作時,禁止扶、靠設(shè)備，禁止觸摸高頻電纜和線圈，以免發(fā)生意外

#.高頻電源實際使用功率不能超過較大限制#.檢查設(shè)備時，必須關(guān)機后切斷電源

#. 工作場地必須保持清潔、干燥，設(shè)備上及設(shè)備周圍不得放置無關(guān)物品，特別是易1燃、易1爆物品

#.長期停放時注意防潮，拆除電源進線，每隔3-5天開一次機，保證反應(yīng)室真空以免被污 染

#.設(shè)備停機、過夜也要保持反應(yīng)室真空，如停機較長時間后再進行刻蝕工藝，需先進行一次空載刻蝕，再刻蝕硅片

離子束刻蝕

離子束刻蝕技術(shù)是近年來發(fā)展起來的一種微細(xì)加工技術(shù)，它利用反應(yīng)離子束轟擊團體表面時發(fā)生的濺射效應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)剝離加工工作上的幾何圖形。具有極高的分辨率，能夠控制槽深和槽壁角度，表面應(yīng)力小。反應(yīng)離子束刻蝕技術(shù)已有效地用于研究和制造大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路，聲表面波器件，磁泡存儲器，微波器件，集成光路，超導(dǎo)器件，閃爍光柵等。

離子束加工(mM)利用具有較高能量的離子束射到材料表面時所發(fā)生的撞擊效應(yīng)、濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)來進行不同的加工。由于離子束轟擊材料是逐層去除原子，所以可以達到納米級的加工精度。離子束加工按其工藝原理和目的的不同可以分為三種：用于從工件上去除材料的刻蝕加工、用于給工件表面涂覆的鍍層加工以及用于表面改性的離子注入加工。由于電子束和離子束易于實現(xiàn)準(zhǔn)確的控制，所以可以實現(xiàn)加工過程的全自動化，但是電子束和離子束的聚焦、偏轉(zhuǎn)等方面還有許多技術(shù)問題尚待解決