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由于選用物理氣相堆積工藝可大幅度進步刀具的切削性能,人們在競相開發(fā)、高可靠性設(shè)備的一同,也對其運用范疇的擴展,尤其是在高速鋼、硬質(zhì)合金和陶瓷類刀具中的運用進行了愈加深化的研究。
化學(xué)氣相堆積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體,憑仗氣相作用或基體表面上的化學(xué)反應(yīng),在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法,首要包含常壓化學(xué)氣相堆積、低壓化學(xué)氣相堆積和兼有CVD和PVD兩者特點的等離子化學(xué)氣相堆積等。