真空PVD鍍膜基本步驟

1、前處理工藝：褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾。

2、鍍膜工藝：抽真空、加熱烘烤、漏率測(cè)試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐。

3、后處理工藝：清洗：確保鍍膜前產(chǎn)品表面的清潔，越新鮮的表面，越能保證鍍膜質(zhì)量。抽真空：將真空室內(nèi)的殘余氣體抽走。加熱烘烤：爐體和工件同時(shí)加熱，加速殘余氣體的釋放。壓升率測(cè)試：測(cè)試爐體的漏氣率和放氣率。轟擊清洗：去除工件表面的雜志，露出新鮮表面。鍍膜：沉積膜層。冷卻：避免工件氧化變色。

真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)Ar有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。

正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓)，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線)，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。

真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達(dá)到1mmHg較好。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

真空鍍膜設(shè)備需要的環(huán)境要求

真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作，因此該設(shè)備要滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。真空對(duì)環(huán)境的要求，一般包括真空設(shè)備對(duì)所處實(shí)驗(yàn)室（或車間）的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求，和對(duì)處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。

這兩個(gè)方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣，要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。眾所周，油封式機(jī)械泵不宜抽除對(duì)金屬有腐蝕性、對(duì)真空油其反應(yīng)的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體，當(dāng)大量抽除可凝性氣體時(shí)，對(duì)泵油的污染會(huì)更加嚴(yán)重，結(jié)果使泵的極限真空下降，破壞了泵的抽氣性能。

工業(yè)環(huán)境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區(qū)分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態(tài)的物質(zhì)。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合，而顆粒是指能夠一個(gè)一個(gè)計(jì)數(shù)的微小物質(zhì)。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態(tài)存在于氣體中的物質(zhì)體系。物質(zhì)無論是固體還是液體，凡是呈顆粒狀態(tài)均可統(tǒng)稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標(biāo)準(zhǔn)，從而定制出潔凈室的等級(jí)。不僅適合于有潔凈要求的工業(yè)部門，也適合于真空對(duì)潔凈環(huán)境的要求。

真空鍍膜機(jī)漏氣檢修

真空電鍍?cè)O(shè)備漏氣問題我們應(yīng)該如何進(jìn)行檢修呢？真空電鍍?cè)O(shè)備漏氣對(duì)于設(shè)備本身是有大的影響的，因此我們要及時(shí)的進(jìn)行檢修維護(hù)。

1、要測(cè)試好真空室內(nèi)氣體密封性能的比例，確保氣密性能夠符合要求。

2、然后檢查真空鍍膜漏孔大小、形狀和漏氣速度，分析出解決方案并且可以實(shí)施。

3、要確認(rèn)真空電鍍漏氣是真漏還是虛漏，因?yàn)樵诠ぜ牧霞訜嶂髸?huì)在不同程度上產(chǎn)生一定的氣體，有時(shí)候會(huì)誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這就是虛漏，我們要排除這種情況。

4、確定檢測(cè)儀器小的檢漏率和撿漏靈敏性，以大范圍檢測(cè)出漏氣的情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。

5、后還要避免真空電鍍漏孔的堵塞，有時(shí)候因?yàn)椴僮魇д`，真空電鍍?cè)趽炻┲?，?huì)有一些灰塵或液體等把漏孔給堵塞了，以為在那位置沒有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外的壓強(qiáng)差異提高或會(huì)使漏孔不堵了，但是漏氣還是會(huì)存在的。