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硝材化學(xué)穩(wěn)定性差,基片在前加工過(guò)程中流轉(zhuǎn)過(guò)程中,表面已經(jīng)受到腐蝕,形成了腐蝕層或水解層(也許是局部的、極薄的)。膜層鍍?cè)诟g層或水解層上其吸附就差,膜牢固度不良。
基片表面有臟污、油斑、灰點(diǎn)、口水點(diǎn)等,局部膜層附著不良,造成局部膜牢固度不良。
改善對(duì)策:
㈠加強(qiáng)去油去污處理,如果是超聲波清洗,應(yīng)重點(diǎn)考慮去油功能,并保證去油溶液的有效性;如若是手擦,可考慮先用碳酸鈣粉擦拭后再清擦。加強(qiáng)鍍前烘烤,條件許可,基片溫度能達(dá)到300℃以上更好,恒溫20分鐘以上,盡可能使基片表面的水qi、油汽揮發(fā)。 次數(shù)用完API KEY 超過(guò)次數(shù)限制
薄膜的成膜過(guò)程,是一個(gè)物質(zhì)形態(tài)的轉(zhuǎn)變過(guò)程,不可避免地在成膜后的膜層中會(huì)有應(yīng)力存在,對(duì)于多層膜來(lái)說(shuō)有不同膜料的組合,各膜層體現(xiàn)出的應(yīng)力是有所不同的,有的是張應(yīng)力、有的是壓應(yīng)力,還有膜層及基片的熱應(yīng)力。
應(yīng)力的存在對(duì)膜強(qiáng)度是有害的,輕者是膜層耐不住摩擦,重者,造成膜層的龜裂或網(wǎng)狀細(xì)道子。
對(duì)于減反膜,由于層數(shù)不多,應(yīng)力一般體現(xiàn)不明顯,(但有些硝材的鏡片即便是減反膜也有應(yīng)力問(wèn)題存在。)而層數(shù)較多的高反膜、濾光膜,應(yīng)力是一個(gè)常見(jiàn)的不良因素,應(yīng)特別注意。 次數(shù)用完API KEY 超過(guò)次數(shù)限制
外層膜表面硬度:減反膜一般外層選用MgF2,該膜層剖面是較松散的柱狀結(jié)構(gòu),表面硬度不高,容易擦拭出道子。
㈠膜系設(shè)計(jì)允許時(shí),外層加10nm左右的SiO2層,二氧化硅的表面光滑度優(yōu)于氟化鎂(但二氧化硅表面耐磨度、硬度不如氟化鎂)。鍍后離子轟擊幾分鐘,牢固度效果會(huì)更好。(但表面會(huì)變粗)
㈡鏡片出真空室后,放置在較干燥潔凈的地方,防治快速吸潮,表面硬度降低。其它造成膜強(qiáng)度不良的原因還有,真空度過(guò)低(在手動(dòng)控制的機(jī)臺(tái)容易發(fā)生)、真空室臟、基片加熱不到位。 次數(shù)用完API KEY 超過(guò)次數(shù)限制