氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

正常運(yùn)行時，空氣經(jīng)過漏點(diǎn)被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大氣。試驗(yàn)時在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質(zhì)譜檢漏儀，在真空系統(tǒng)的漏點(diǎn)處噴氦氣，由于氦質(zhì)譜檢漏儀工作時能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體，有一部分被吸入到氦質(zhì)譜檢漏儀，由于氦分子質(zhì)量與其他分子質(zhì)量不一樣，通過磁場產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)磁力不一樣，氦質(zhì)譜檢漏儀上設(shè)計有一狹縫，剛好使氦分子通過而其他分子無法通過，這樣，通過狹縫后的氦分子打在收集板上，通過靶板計數(shù)，即可知道通過的分子數(shù)泄漏量的相對大小。

真空法氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)缺點(diǎn)

真空法的檢測標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高，可以準(zhǔn)確定位，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個大氣壓差的漏率檢測，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

背壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。