氦質(zhì)譜檢漏儀特點

1，氣路設(shè)計，提高了對氦的抽速，縮短了清氦本底時間，有效防止氦污染。2，檢漏口配備：定制精密過濾裝置，可有效避免雜物顆?；蜚~粉進(jìn)入儀器內(nèi)部。3，多模式功能輸入、輸出，輕松連接各種自動化設(shè)備。4，機械與電路有效分開，避免了溫度、電磁場等彼此干擾，使檢漏儀運行更加穩(wěn)定、可靠。5，可檢漏率低，靈敏度高，檢測量程達(dá)到11級。

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)一般包括：

1、主泵：一般用護(hù)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa，其抽速應(yīng)導(dǎo)氣載匹配。

2、前級真空泵：一般采用旋片式機械真空泵，在以分子泵為主泵的系統(tǒng)中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速導(dǎo)主泵匹配。

3、預(yù)抽真空泵：一般與前級真空泵共用一個泵，也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。

4、冷阱：分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。護(hù)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。

真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有哪些

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。

逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進(jìn)氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理

逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高，氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點。