雷尼紹激光干涉儀

雷尼紹設(shè)計、制造和提供激光系統(tǒng)已有近二十年的歷史。XL-80正是多年設(shè)計和制造經(jīng)驗的結(jié)晶，具有真正優(yōu)良的系統(tǒng)性能和操作優(yōu)點。

RENISHAW激光干涉儀

雷尼紹公司的激光干涉儀和球桿儀測量系統(tǒng)用于評估、監(jiān)控并提高機床、坐標(biāo)測量機 (CMM) 及其他位置精度要求關(guān)鍵的運動系統(tǒng)的靜態(tài)和動態(tài)性能。激光干涉儀采用安裝在外部的光學(xué)鏡組件實現(xiàn)高精度、可重復(fù)、可溯源的測量。目前有兩款雷尼紹激光干涉儀系統(tǒng)在全球廣泛使用，一款是XL-80（自2007年開始生產(chǎn)），另一款是被其替代的ML10（1988年至2007年）。

激光干涉儀介紹

激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

（1）數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計結(jié)果。

（2）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。