在進(jìn)行充氮加壓油淬時，高純氮?dú)饪梢云鸬奖Ｗo(hù)電熱原件作用。在特定的電壓與真空環(huán)境下，氮?dú)鈺M(jìn)行電離作用，實現(xiàn)離子滲氮。在冶金過程中，如果發(fā)生斷電情況，將氮?dú)獬渲脿t內(nèi)，就能夠防止?fàn)t體發(fā)生燃爆，保障操作的安全性。在冶金行業(yè)中，高純氮?dú)獾氖褂糜行У拇龠M(jìn)和推動了行業(yè)發(fā)展，并對環(huán)境起到了一定保護(hù)作用，但冶金行業(yè)中所需要的氮?dú)獗仨氁邆漭^高的品質(zhì)，氮?dú)饧兌缺仨毐３衷?9.99%～99.999%以上，才能夠達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)。

什么是電子氣體

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過道，其中大約要使用種不同種類的電子氣體。

電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的用氣點(diǎn)。根據(jù)氣體性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同。

氦氣和其它氣體不一樣，氦氣化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定，和其它有各種化合物的氣體不一樣。氫氣、氮?dú)獾葰怏w可以在實驗室中通過化合物之間的反應(yīng)來獲取純氣，但是氦氣沒有化合物也就無法有所謂的實驗室制氦氣的方法。那么工業(yè)制氦氣可行么？其實嚴(yán)格說來工業(yè)制氦氣也是不行的，通常所說的工業(yè)制氦氣指的是粗氦的提純而不是制造。

 現(xiàn)有的氦氣都是混雜在然氣中，工業(yè)制氦氣也只是利用各種方法手段將氦氣從其中提取出來，再通過液化分餾等手段進(jìn)一步提純獲得更高純度的氦氣，例如超純氦氣、5N氦氣等。理論上只要然氣中氦氣的含量超過0.5%就可以進(jìn)行分離，實現(xiàn)大規(guī)模的商業(yè)開發(fā)。