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電子氣體的分類
一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。目前電子消費品的種類繁多以及升級換代日趨頻繁,同類產(chǎn)品的不同制造規(guī)模、不同級別檔次的生產(chǎn)工廠和科研機(jī)構(gòu)共存。
大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括等),以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括,代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括,光纖(氣體種類包括硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備,用氣需求大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場制氣或工業(yè)園區(qū)管道集中供應(yīng)方式,一個年產(chǎn)萬片的超大規(guī)模集成電路廠高純氮氣的需求超過,發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過。除了普通鋼瓶(及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣,包括鋼瓶集裝格罐等。
標(biāo)準(zhǔn)氣體是引有氣體工業(yè)名詞,標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的,良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測定標(biāo)準(zhǔn),它們具有復(fù)現(xiàn),保存和傳遞量值的基本作用,在物理,化學(xué),生物與工程測量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測量儀器和測量過程,評價測量方法的準(zhǔn)確度和檢測實驗室的檢測能力,確定材料或產(chǎn)品的特性量值,進(jìn)行量值仲裁等。
標(biāo)準(zhǔn)氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)—— 標(biāo)準(zhǔn)氣體是物質(zhì)的一個態(tài)。氣體與液體一樣是流體:它可以流動,可變形。與液體不同的是氣體可以被壓縮。假如沒有限制(容器或力場)的話,氣體可以壙散,其體積不受限制。標(biāo)準(zhǔn)氣體氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子相互之間可以自由運(yùn)協(xié)。氣態(tài)物質(zhì)的原子或分子的動能比較高。