什么是高純氣體？

改革開放以來，隨著我國高新技術(shù)的快速發(fā)展，計算機(jī)工業(yè)對大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過的迅猛發(fā)展，上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。調(diào)研樣本說明：本次調(diào)研180家企業(yè)，其中涉及空分企業(yè)150家，中間貿(mào)易商30家，調(diào)研范圍覆蓋了全國主要工業(yè)氣體產(chǎn)銷省份。什么是高純氣體？半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類：1、普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。

稀有氣體的特點

稀有氣體(RareGases)：元素周期表后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、氙、氡。有專人負(fù)責(zé)管理,驗收核實,登記發(fā)放做到有帳可查，不管是倉庫還是使用場所,空瓶與實瓶都應(yīng)分開放置,并有明顯標(biāo)志。種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。低壓液化氣體(Low P ressu re L iquef ied Gases) ：臨界溫度大于70℃的氣體。區(qū)分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃?xì)怏w。此類氣體在充裝時以及在允許的工作溫度下貯運(yùn)和使用過程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、三氟氯、五氟氯、氯、三氯化硼、二氧化硫、二氧化氮、丙烷、丙烯、正丁烷、異丁烷、1- 丁烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氨、乙胺、甲硫醇、1, 3—丁二烯。

氧氣的物理性質(zhì)

氧元素位于周期表第六族，原子序數(shù)為8，原子量為16，分子量為32.在通常情況下，氧是無色、無味的氣體。電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準(zhǔn)用的零點氣、標(biāo)準(zhǔn)氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求,可列為高純氣體。空氣中含有自由狀態(tài)的氧，按體積氧的含量約占21%，按質(zhì)量約占23%。在標(biāo)準(zhǔn)狀況下，1升氧氣的質(zhì)量為1.429克，它比空氣稍重。當(dāng)溫度降到-183℃ 時，氧態(tài)氧變成淡藍(lán)色的液體；當(dāng)溫度降到-218.8℃ 時，液氧就會變成雪花狀的淡藍(lán)色固體。氧是自然界中含量較多的元素，分布很廣，占地殼中各元素總量的47%，占水成分的89%，占地殼中巖石，抗物成分的46.6%。