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高純管道在高純氣體輸送中的意義
在不銹鋼熔煉制材過程中,每噸可吸收大約200g的氣體。管材的這一特性至關(guān)重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內(nèi)表面有一個(gè)極高的光滑度,而且,應(yīng)當(dāng)具有很高的耐磨特性。不銹鋼材加工完畢,不僅其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體。當(dāng)管路中有氣流通過時(shí),金屬所吸留的這部分氣體會(huì)重新進(jìn)入氣流中,污染純凈氣體。當(dāng)管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動(dòng)時(shí),管材對(duì)所通過的氣體形成壓力下吸附,氣流停止通過時(shí),管材所吸附的氣體又形成解析,而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純凈氣體中。同時(shí),吸附、解析周而復(fù)始,使得管材內(nèi)表面金屬也會(huì)產(chǎn)生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。管材的這一特性至關(guān)重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內(nèi)表面有一個(gè)極高的光滑度,而且,應(yīng)當(dāng)具有很高的耐磨特性。電子氣體的特點(diǎn)
電子氣體(Elect ron ic gases) :半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類:1、普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2、N2、O2、Ar、He等。按其門類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合,可分為電子級(jí)、L S I (大規(guī)模集成電路) 級(jí)、VL S I (超大規(guī)模集成電路) 級(jí)和UL S I (特大規(guī)模集成電路)級(jí)。