安裝質量不好將會使壓升率達不到技術要求，長期使用之后，真空爐的壓升率也會增大。當真空度壓升率惡化到一定程度后，處理零件的表面質量下降，加熱元件的使用壽命會明顯降低，這是需要對爐子檢漏，并排除漏氣原因。檢漏及排除漏氣因素的目的就是使漏氣率達到技術條件要求。1）由于存在漏孔產生的漏氣；2）由滲透產生的漏氣；滲透式指氣體不是通過固體中的漏孔方式漏氣的現(xiàn)象，而是氣體吸附在固體的高壓一側表面上，然后沿濃度梯度向固體低壓的一側擴散。在真空爐中的金屬、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以滲透氣體的。

使金屬經受極高的熱量不僅會影響其結構，電阻和磁性，還會使其膨脹。熱膨脹是不言自明的。金屬在經受特定溫度時會膨脹，特定溫度會根據金屬而變化。金屬的實際結構也會隨著熱量而變化。稱為同素異形相變，熱量通常會使金屬更軟，更弱并且更具延展性。延展性是將金屬拉伸成金屬絲或類似材料的能力。熱量也會影響金屬的電阻。金屬越熱，電子散射越多，從而使金屬對電流的耐受性更高。

在真空度低于金屬或合金的相應分解壓力時，其氧化物會發(fā)生分解，形成游離氧并立即被排出真空室外，使工件內部的質量得到提高。

由于鋼鐵零件的坯料在冶煉時會吸入大氣中少量的氫氣、氮氣、一氧化tan等氣體，從而產生微小氣孔，易造成氫脆等缺陷，硬質合金。在壓制時也會有空氣進入，所以對于工模具鋼來說，通過真空技術可以將工件內部的殘余氣體抽掉，使組織得到純凈。對于硬質合金來說，通過真空處理同樣可以將工件內部的殘余氣體抽掉。

硬質合金中主要成分為碳化鎢和鈷，其占所有成分的99%，1%為其他金屬，所以也被稱作鎢鋼。常用于高精度機械加工、高精度刀具材料、車床、沖擊鉆鉆頭、玻璃刀刀頭、瓷磚割刀之上，堅硬不怕退火，但質脆。屬于稀有金屬之列。鎢鋼具有硬度高、耐磨、強度和韌性較好、耐熱、耐腐蝕等一系列優(yōu)良性能，特別是它的高硬度和耐磨性，即使在500℃的溫度下也基本保持不變，在1000℃時仍有很高的硬度。硬質合金廣泛用作材料，如車刀、銑刀、刨刀、鉆頭、鏜刀等，用于切削鑄鐵、有色金屬、塑料、化纖、石墨、玻璃、石材和普通鋼材，也可以用來切削耐熱鋼、不銹鋼、高錳鋼、工具鋼等難加工的材料。新型硬質合金的切削速度等于碳素鋼的數(shù)百倍。