預(yù)抽真空回火爐是一種保護氣氛熱處理爐。真空回火爐對爐內(nèi)的氧化氣氛排除的方法有充氣法和換氣法。充氣法是對爐膛連續(xù)充、放氣，趕出爐內(nèi)的氧化雜質(zhì)氣體，使?fàn)t內(nèi)的氣氛純度達到要求。換氣法是利用機械泵對爐內(nèi)的氧化氣體抽出，再充入保護氣體，然后再抽出不純氣體，充入保護氣，這樣反復(fù)進行幾次直到爐內(nèi)氣體純度合格。高合金鋼真空回火的真空度選用133MPa對應(yīng)爐內(nèi)的殘氧量為0.132%。

1、完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口、切削性能的改善關(guān)系極大。

2、對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。

3、爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。

在熱處理硬化金屬時，金屬會加熱到可以使金屬中的元素變成溶液的溫度；在此之前，金屬晶格結(jié)構(gòu)中的缺陷是“提供”或可塑性的主要來源。熱處理通過將金屬帶入具有細(xì)顆粒的可靠溶液中來強化金屬，從而解決了這些缺陷。將金屬徹底加熱到合適的溫度以產(chǎn)生固溶體后，將其快速淬滅以將顆粒捕獲在溶液中。在沉淀硬化中，將雜質(zhì)顆粒添加到金屬合金中以進一步提高強度。

隨著真空熱處理技術(shù)及其相關(guān)設(shè)備的發(fā)展，這幾年逐步發(fā)展出了一批新技術(shù)，這些新技術(shù)反過來也推動了真空熱處理在更多領(lǐng)域的應(yīng)用。其中，真空氫氣復(fù)合凈化就是這些新技術(shù)中的佼佼者，它打破了以往使用氫氣爐時容易受到各種外在環(huán)境制約的影響，并且還極大地提高了使用安全性。

在民用市場領(lǐng)域，針對該技術(shù)的研究和應(yīng)用推動了我國金剛石制造技術(shù)的進步。在領(lǐng)域，該技術(shù)在軟磁合金和電工純鐵的熱處理方面發(fā)揮了重要作用，通過采用此項技術(shù)使得產(chǎn)品磁性能得到了明顯提高，而產(chǎn)品矯頑力卻得到了顯著降低。