晶格有序度的均勻性：

這決定了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問題，具體見下。

主要分類有兩個(gè)大種類：

蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜，具體則包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，溶膠凝膠法等等

一、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜：

一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。

厚度均勻性主要取決于：

1、基片材料與靶材的晶格匹配程度

2、基片表面溫度

3、蒸發(fā)功率，速率

4、真空度

5、鍍膜時(shí)間，厚度大小。

組分均勻性：

蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對(duì)于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

晶向均勻性：

1、晶格匹配度

2、基片溫度

3、蒸發(fā)速率

防水鍍膜機(jī)膜厚測(cè)量方法，涂層的鍍膜設(shè)備控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法，該儀器可以直接驅(qū)動(dòng)的蒸發(fā)源，通過PID控制回路傳動(dòng)擋板，使蒸發(fā)率。濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接，它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準(zhǔn)確性是有限的，鍍膜機(jī)部分原因是其監(jiān)測(cè)代替光學(xué)厚度的涂層質(zhì)量。

此外，雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定，但溫度高，它將成為對(duì)溫度很敏感。在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過程中，鍍膜機(jī)很難避免傳感器為敏感的區(qū)域，導(dǎo)致薄膜的重大錯(cuò)誤。 光學(xué)監(jiān)測(cè)是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式，鍍膜機(jī)這是因?yàn)樗軠?zhǔn)確控制膜的厚度(如果使用得當(dāng))。

這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，是當(dāng)代的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。減反射鍍膜意義重大,大幅提升用戶體驗(yàn):現(xiàn)階段幾乎所有手機(jī)、平板電腦屏幕在陽(yáng)光下的可視效果都非常差,主要是表面蓋板玻璃(主要成分為SiO2和Al2O3)折射率較高,超過1。Parylene是一種保護(hù)性高分子材料，中文名，聚對(duì)二，派瑞林它可在真空下氣相沉積，Parylene活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部，周圍形成無，厚度均勻的透明絕緣涂層，給元件提供一個(gè)完整的防護(hù)涂層，抵御酸堿、鹽霧、霉菌及各種腐蝕性氣件的侵害，因?yàn)镻arylene不是液體，所以涂敷過程中不會(huì)聚集，橋接式形成彎月面。

瑞林（parylene）采用真空氣相沉積工藝制備(CVD)的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，是當(dāng)代*有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。

電路板派瑞林（parylene）鍍膜加工

防潮、絕緣、防銹、耐化學(xué)腐蝕性、氣體阻隔性能*的派瑞林表面涂層，通過幾個(gè)微米的薄膜，形成一層無和可靠的保護(hù)膜。此外，通過薄膜發(fā)揮*的防潮性能，是室外設(shè)置LED照明、燈飾、移動(dòng)式顯示器等的輕量化的*選擇。