隨著微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，如今的電容式加速度傳感器都普遍采用的MEMS技術(shù)制造。下圖顯示了一種MEMS變電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)，它的整個(gè)敏感元件由粘在一起的三個(gè)單晶硅片構(gòu)成。其中上、下硅片構(gòu)成兩個(gè)固定電極，中間的硅片通過(guò)化學(xué)刻蝕形成由柔性薄膜支撐的具有剛性中心質(zhì)量塊的形狀，薄膜的厚度取決于該加速度傳感器的量程。另外，在薄膜上還有刻蝕出的小孔，當(dāng)薄膜隨質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)時(shí)，空氣流經(jīng)小孔從而產(chǎn)生所需的阻尼力。同時(shí)在丈量中采用激光三角丈量法和激光回波分析法兩種丈量方式，保證了丈量結(jié)果的快速性和精準(zhǔn)性。由于采用MEMS技術(shù)得到了這種一體化的結(jié)構(gòu)，它的可靠性是相當(dāng)高的。

振動(dòng)傳感器的類型對(duì)振動(dòng)進(jìn)行監(jiān)控主要通過(guò)以下三種儀器：壓電加速計(jì)應(yīng)變片傳感器渦流或電容位移傳感器壓電加速度計(jì)

加速度計(jì)是用于測(cè)量結(jié)構(gòu)的振動(dòng)或運(yùn)動(dòng)加速度的設(shè)備，可以把振動(dòng)或運(yùn)動(dòng)變化引起的機(jī)械力利用壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)化為電流。（傳感器離不開(kāi)“壓電效應(yīng)”）壓電加速度計(jì)有兩種類型，高阻抗和低阻抗。

高阻抗加速度計(jì)產(chǎn)生的電荷直接連接到測(cè)量?jī)x器。

而低阻抗加速度計(jì)需要相關(guān)放大電路蔣信號(hào)進(jìn)行放大,這種類型的加速度計(jì)可與標(biāo)準(zhǔn)儀器連接

如何選擇選擇振動(dòng)傳感器時(shí)要考慮以下因素：范圍和精度環(huán)境條件測(cè)量表面的形狀這三個(gè)傳感器中加速度計(jì)是常見(jiàn)的，因?yàn)樗哂辛己玫念l率范圍，意味著它可以檢測(cè)各種振動(dòng)頻率，加速度計(jì)價(jià)格合理且經(jīng)久耐用。必須直接安被測(cè)機(jī)器上。

渦流傳感器或電容傳感器具有中等精度，并非高分辨率應(yīng)用的選擇。它們非常耐用，非常適合在骯臟的環(huán)境中使用。就像加速度計(jì)一樣，它們也必須直接安裝到要監(jiān)視的機(jī)器上。

應(yīng)變儀既通用又，同時(shí)仍適用于危險(xiǎn)環(huán)境。不幸的是，它們可能很難正確安裝（要正確安裝的確困難，因?yàn)榘惭b不對(duì)就無(wú)法讓?xiě)?yīng)變片與被測(cè)對(duì)象同步應(yīng)變），并且使用應(yīng)變片需要放大器，這會(huì)推高總價(jià)格。

傳感器工作原理簡(jiǎn)單，測(cè)量功能強(qiáng)，故障少，發(fā)熱量低。直線導(dǎo)體f是直線導(dǎo)體一根交叉固定的非球形孔周邊軸承，成為一個(gè)導(dǎo)體。優(yōu)點(diǎn)：具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。解決了齒輪變速器的齒根嚴(yán)重磨損和螺紋間隙問(wèn)題，解決了軸承的工作粘滯問(wèn)題，幾乎符合軸承發(fā)熱量的要求。目前常用的原裝石英體型齒輪有直軸石英和傾斜軸石英兩種。直軸直軸在m以上的球齒輪被大多數(shù)專業(yè)采用。但是我國(guó)固定螺紋套筒中主要存在變差現(xiàn)象