氦檢漏設(shè)備簡(jiǎn)介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統(tǒng)、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機(jī)械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過(guò)這些缺陷進(jìn)入系統(tǒng)內(nèi)部，致使系統(tǒng)、容器或器件達(dá)不到預(yù)期的真空度，這種現(xiàn)象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復(fù)雜，無(wú)法用幾何尺寸表示，因此在真空技術(shù)中用漏率來(lái)表示漏孔的大小。漏率是指單位時(shí)間內(nèi)漏入系統(tǒng)的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術(shù)就是用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門(mén)技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過(guò)程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。

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氦質(zhì)譜檢漏法的應(yīng)用領(lǐng)域

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對(duì)各種試件的適應(yīng)性以及無(wú)破壞性，使其廣泛應(yīng)用。主要領(lǐng)域和產(chǎn)品如下：

原子能工業(yè)——?dú)怏w擴(kuò)散處理系統(tǒng)、容器；

高能物理研究院——及其配件；

電力工業(yè)——高壓開(kāi)關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；

電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；

航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等；

儀表制造——壓力傳感器、閥門(mén)、波紋管和密封焊接件等；

空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門(mén)等；

真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門(mén)、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；

冶金——真空電爐；

低溫與壓力容器——液氮和液氦儲(chǔ)存罐、生物制品容器及各類壓力容器；

輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽(yáng)能集熱管、飲料罐口等。

這些部門(mén)的產(chǎn)品要求一定的密封性，其中，有的產(chǎn)品的泄漏會(huì)危害產(chǎn)品或工作過(guò)程，還有些產(chǎn)品泄漏會(huì)造成物質(zhì)的流失，嚴(yán)重的會(huì)危害操作人員的生命健康。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢漏真空箱、回收系統(tǒng)和差壓氣密性檢漏儀的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技創(chuàng)新型企業(yè)。公司自成立以來(lái)，以“積極樂(lè)觀、勇于擔(dān)當(dāng)、不輕然諾，精益求精”的企業(yè)精神，一步一個(gè)腳印發(fā)展成為中國(guó)同類企業(yè)中經(jīng)營(yíng)范圍廣、在行業(yè)內(nèi)頗具影響力的企業(yè)。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護(hù)

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質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用，但是在長(zhǎng)時(shí)間的使用過(guò)程中常常會(huì)出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門(mén)組件、真空計(jì)與閥門(mén)組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。

2 本底信號(hào)不穩(wěn)定

1）本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門(mén)窗打開(kāi)通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動(dòng)

分子泵不啟動(dòng)，主要有檢查供電和前級(jí)真空是否正常（較常見(jiàn)的是前級(jí)真空機(jī)械泵故障或沒(méi)有打開(kāi)造成的分子泵無(wú)法啟動(dòng)）?；蛘呤欠肿颖帽旧硪蛘駝?dòng)和粉塵污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無(wú)法正常加電，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級(jí)機(jī)械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會(huì)使油色變黑，水汽會(huì)使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機(jī)械泵工作不正常。另外過(guò)低的溫度會(huì)使機(jī)械泵油粘稠度增加無(wú)法啟動(dòng)，過(guò)高的溫度也會(huì)使機(jī)械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機(jī)械泵的環(huán)境溫度在 10至 40之間使用。

質(zhì)譜法基本原理

質(zhì)譜,又稱質(zhì)譜法（mass spectrometry,MS），是通過(guò)不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉(zhuǎn)化為運(yùn)動(dòng)的氣態(tài)離子，并按照質(zhì)荷比（m/z）大小進(jìn)行分離檢測(cè)的分析方法，是一種與光譜并列的譜學(xué)方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對(duì)強(qiáng)度大小，質(zhì)譜可對(duì)無(wú)機(jī)物、有機(jī)物和生物大分子進(jìn)行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無(wú)機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開(kāi)始用于有機(jī)物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無(wú)機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開(kāi)始用于有機(jī)物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應(yīng)用，是質(zhì)譜更好的運(yùn)用于生物化學(xué)大分子。90年代以來(lái)，隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應(yīng)用，已形成生物質(zhì)譜學(xué)一新學(xué)科[1]。目前，質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應(yīng)用于原子能、化學(xué)、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門(mén)，農(nóng)業(yè)科學(xué)研究部門(mén)，以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學(xué)、有機(jī)化學(xué)等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域[2]。

質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經(jīng)加速電場(chǎng)的作用獲得動(dòng)能形成離子束；進(jìn)入質(zhì)量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場(chǎng)或磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)軌跡的差異，將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時(shí)間的不同而分離開(kāi)；然后到達(dá)離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，得到質(zhì)譜圖。

質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu)，化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測(cè)得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進(jìn)行分離、檢測(cè)和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進(jìn)樣系統(tǒng)，離子源，質(zhì)量分析儀，離子及信號(hào)放大記錄系統(tǒng)組成

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