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風(fēng)管要求經(jīng)濟(jì)與效率并重
在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟(jì)又能有效地送風(fēng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)在風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時(shí),電加熱器會繼續(xù)送電加熱,造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi),為避免這種情況的出現(xiàn),應(yīng)設(shè)置無風(fēng)以及超溫?cái)嚯姷谋Wo(hù)。前者要求體現(xiàn)在價(jià)格低廉,方便施工,運(yùn)行成本,內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴(yán)密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。在運(yùn)行中,有時(shí)候管件的局部阻力大大高于風(fēng)管的沿程阻力,這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。
空氣分子污染AMC作為IC工廠關(guān)心的問題于20年前先由日本人提出,近年來,世界Ic卡技術(shù)展開疾速,IC芯片日益微型化,目前曾經(jīng)有贏徑為0.4lilln的世界小的非接觸型無線射頻識別芯片。因此,IC消費(fèi)過程中的某些加工工序及工序問的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響廢品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈室設(shè)計(jì)與施工樹立的主流趨向。AMC對當(dāng)前的IC消費(fèi)其潛在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒徑及個(gè)數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的減少而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。
生產(chǎn)車間應(yīng)根據(jù)工藝流程進(jìn)行布置,避免重復(fù)往返,防止原材料,半成品和成品的交叉污染和混合。
地面應(yīng)鋪以吸水、不透水、防滑、防腐的無毒材料。它沒有裂縫,易于清洗和消毒。地面應(yīng)有1%-2%的坡度和排水系統(tǒng),保證排水暢通,地面無積水;車間下水道應(yīng)有可靠的液封裝置。
墻面應(yīng)由不透水、不吸水、耐洗、防滲材料組成,表面光滑、無裂縫,刷色淺、無毒、不易脫落、易于清洗、消毒和殺菌。墻角應(yīng)該是弧形的。
門應(yīng)具有光滑,不吸水的表面,緊密關(guān)閉,并根據(jù)每個(gè)車間的實(shí)際需要設(shè)置防飛設(shè)施,如紗門,屏風(fēng),水幕和氣簾。
窗臺高度超過1米,內(nèi)窗臺向下傾斜45度。
天花板應(yīng)防止灰塵堆積,霉菌生長和材料剝落,易于清洗,不凝結(jié)水。
潔凈廠房使用驗(yàn)收后,應(yīng)編寫使用驗(yàn)收報(bào)告,其主要內(nèi)容有:
1.潔凈廠房中各種設(shè)施(包括生產(chǎn)工藝設(shè)備)等的開啟狀態(tài)描述;
2.測試的潔凈室(區(qū))人員及其活動情況的描述;
3.分項(xiàng)測試記錄及分析意見(包括測試點(diǎn)位置、座標(biāo)等);
4.測試儀器的有效校驗(yàn)證書;
5.驗(yàn)收出具相關(guān)結(jié)論。
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