凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

活動(dòng)縫隙（二類）的處理：

　　凈化車間門宙的開啟扇與框料如何搭接是凈化車間門宙密封設(shè)計(jì)中的關(guān)鍵。搭接處的縫隙有別于固定縫隙，因活動(dòng)扇需要開啟而木能采取“一勞永逸”的封固措施。冷水盤管一般為下進(jìn)上出，蒸汽盤管一般為上進(jìn)下出，按標(biāo)識(shí)接管，以避免接管錯(cuò)誤。相對(duì)于宙而言，凈化車間門的開啟扇更大，活動(dòng)縫隙在一捏凈化車間門的總構(gòu)造縫隙數(shù)量中占有更大的比例，凈化車間門扇的開啟次數(shù)遠(yuǎn)較宙為頻繁，而凈化車間門扇周邊縫隙的工作條件也比較復(fù)雜，以單扇平開凈化車間門為例，沿豎向的兩側(cè)邊小，裝執(zhí)手的一邊經(jīng)常受到通行時(shí)各種摩擦或碰撞，裝鉸鏈的一邊則因扇的旋轉(zhuǎn)而對(duì)膛的施力方向與其他三邊完全不同。

不同潔凈室之間的靜壓差和凈化參數(shù)，潔凈室不同層級(jí)之間的靜壓差應(yīng)大于或等于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差也需要更大。比5Pa。凈化車間的換氣次數(shù)取決于潔凈室的水平。不同等級(jí)的潔凈車間的換氣次數(shù)不同。清潔度越高，每小時(shí)換氣越頻繁。

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