機械安裝：在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器，真空泵通電試運轉(zhuǎn)時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉(zhuǎn)噴油。（轉(zhuǎn)向按防護罩指示方向），對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇＞唧w可分為下述幾種類型。（1） 分子真空泵：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：① 牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。②渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。③ 復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復合式分子真空泵。

羅茨泵：從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。水環(huán)泵也有其缺點：效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領國內(nèi)市場基礎上設法進入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。

為了避免羅茨泵的誤操作，一般多設有旁路溢流閥。根據(jù)對羅茨泵的特殊需要，也有將油的齒輪箱，軸承等部件與泵腔做成分離式結(jié)構(gòu)的。

在羅茨泵的壓縮過程中產(chǎn)生的熱量被傳到轉(zhuǎn)子和泵體上。轉(zhuǎn)子很難將熱量傳至泵外，而泵體的熱量很容易被散失到周圍大氣中。因而轉(zhuǎn)子與泵體之間就出現(xiàn)了溫差。加劇了轉(zhuǎn)子的熱膨脹。當泵負荷增大時，轉(zhuǎn)子膨脹會消失間隙，而被卡死。因此出現(xiàn)了氣冷式羅

茨泵，用冷卻的氣體或大氣去直接冷卻熱態(tài)的轉(zhuǎn)子，從而減少了轉(zhuǎn)子與泵殼間的溫差，提高了羅茨泵的抗熱能力。