一六 熒光測(cè)厚儀 十年以上研發(fā)團(tuán)隊(duì) 集研發(fā)生產(chǎn)銷售一體

元素分析范圍:氯(CI)- 鈾(U)   厚度分析范圍:各種元素及有機(jī)物

一次可同時(shí)分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um

（一）、內(nèi)部結(jié)構(gòu)

   X熒光光譜測(cè)厚儀機(jī)型很多，但是其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如果先天不足，后期的外部結(jié)構(gòu)無(wú)論自動(dòng)化多高，也無(wú)法完全滿足客戶需求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)重要的3點(diǎn)：

1、X熒光發(fā)射和CCD觀測(cè)是否同步和垂直？

2、測(cè)試樣品是否可以變化測(cè)頭到樣品的距離？

3、X光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散情況。

（二）、各種內(nèi)部結(jié)構(gòu)的優(yōu)缺點(diǎn)

   1、X熒光發(fā)射和CCD觀測(cè)樣品只有同步且垂直才不會(huì)因?yàn)闃悠返母叩蜕顪\變化而改變測(cè)試到樣品的位置，才能保證定位精準(zhǔn)，同時(shí)減少與探測(cè)器或計(jì)數(shù)器的夾角，夾角小測(cè)試時(shí)

受樣品曲面或者傾斜影響小。

2、測(cè)試樣品距離可變化才能測(cè)試高低不平帶凹槽的樣品工件，同時(shí)也兼顧好平面樣品的測(cè)試。但是它需要配備變焦鏡頭和變焦

補(bǔ)償射線的算法。

3、X光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散過(guò)于嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致無(wú)法測(cè)試樣品工件上較小的平面位置，如果減小出口（準(zhǔn)直器直徑），又會(huì)嚴(yán)重耗損X光的強(qiáng)度。

因此一臺(tái)此類儀器的小準(zhǔn)直器不是關(guān)鍵，但是測(cè)試面積卻是個(gè)重要的指標(biāo)。

X射線熒光鍍層厚度分析儀基本原理

X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發(fā)出的X射線，它包含了被分析樣品化學(xué)組成的信息，通過(guò)對(duì)X射線熒光的分析確定被測(cè)樣品中各組分含量的儀器就是X射線熒光分析儀。打開(kāi)測(cè)試腔放入標(biāo)準(zhǔn)元素片Ag，通過(guò)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái)滑軌和焦距旋鈕使軟件測(cè)試畫面清晰7。由原子物理學(xué)的知識(shí)，對(duì)每一種化學(xué)元素的原子來(lái)說(shuō)，都有其特定的能級(jí)結(jié)構(gòu)，其核外電子都以其特有的能量在各自的固定軌道上運(yùn)行。內(nèi)層電子在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛，成為自由電子，這時(shí)原子被激發(fā)了，處于激發(fā)態(tài)。此時(shí)，其他的外層電子便會(huì)填補(bǔ)這一空位，即所謂的躍遷，同時(shí)以發(fā)出X射線的形式放出能量。

由于每一種元素的原子能級(jí)結(jié)構(gòu)都是特定的，它被激發(fā)后躍遷時(shí)放出的X射線的能量也是特定的，稱之為特征X射線。通過(guò)測(cè)定特征X射線的能量，便可以確定相應(yīng)元素的存在，而特征X射線的強(qiáng)弱（或者說(shuō)X射線光子的多少）則代表該元素的含量。

江蘇一六儀器有限公司是一家專注于光譜分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的高新技術(shù)企業(yè)。公司位于上海和蘇州中間的昆山市城北高新區(qū)。我們專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)具備十年以上的從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)與海內(nèi)外多名專家通力合作，研究開(kāi)發(fā)出一系列能量色散X熒光光譜儀

X射線熒光光譜分析儀結(jié)構(gòu)及組成：用X射線照射式樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(zhǎng)（或能量）分開(kāi)，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此試用的儀器叫X射線熒光光譜儀。EFP算法結(jié)合精準(zhǔn)定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題薄膜是指在基板的垂直方向上所堆積的1～104的原子層或分子層。由于X光具有一定的波長(zhǎng)，同事又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有2種基本類型：波長(zhǎng)色散型（WD）和能量色散性（ED）。

波長(zhǎng)色散型是由色散元件將不同波長(zhǎng)的特征X射線衍射到不同的角度上，探測(cè)器需移動(dòng)到想要的位置上來(lái)探測(cè)某一波長(zhǎng)能量的射線。利用偏壓收集這些電子空穴對(duì)，經(jīng)過(guò)一系列轉(zhuǎn)換器以后變成電壓脈沖供給多脈沖高度分析器，并計(jì)數(shù)能譜中每個(gè)能帶的脈沖數(shù)。而能量色散型，是由探測(cè)器本身的能量分辨本領(lǐng)直接探測(cè)X射線的能量。波長(zhǎng)色散型譜線分辨本領(lǐng)高，而能量色散型可同時(shí)測(cè)量多條譜線的能量。

江蘇一六儀器有限公司是一家專注于光譜分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的高新技術(shù)企業(yè)。公司位于上海和蘇州中間的昆山市城北高新區(qū)。我們專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)具備十年以上的從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，經(jīng)與海內(nèi)外多名專家通力合作，研究開(kāi)發(fā)出一系列能量色散X熒光光譜儀。

波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀的前面部分和能量色散型X射線熒光光譜儀是一樣的，X光管激發(fā)樣品，檢測(cè)器測(cè)量來(lái)自樣品的射線，但波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀的檢測(cè)器和能量色散型X射線熒光光譜儀的檢測(cè)器不同。EFP算法結(jié)合精準(zhǔn)定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題鍍層厚度分析儀的測(cè)量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測(cè)量法，稱重法，X射線熒光法，β射線反向散射法，電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等等。波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀的計(jì)策系統(tǒng)由一套準(zhǔn)直器，衍射晶體和探測(cè)器組成，來(lái)自樣品的特征譜線照射到鏡頭上，晶體將不同波長(zhǎng)(能量)的譜線衍射到不同的方向，（相當(dāng)于棱鏡將復(fù)合光分解成不同的單色光），將檢測(cè)器放置在一定的角度，就可測(cè)量某一波長(zhǎng)的譜線強(qiáng)度。將分光晶體和探測(cè)器裝在測(cè)角儀上，使它在一定角度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，一次測(cè)量不同波長(zhǎng)長(zhǎng)譜線的強(qiáng)度，使用這種形式的光譜儀稱為順序掃描式光譜儀。安裝固定檢測(cè)系統(tǒng)的稱為同時(shí)式光譜儀，每一套檢測(cè)系統(tǒng)都有自己的晶體和探測(cè)器，分別測(cè)量某一特定元素的譜線，各譜線的強(qiáng)度同時(shí)被測(cè)量，這就很容易理解為什么稱它為固定道波長(zhǎng)色散型光譜儀，另外也有固定式和轉(zhuǎn)動(dòng)式結(jié)合的儀器。X射線波長(zhǎng)色散型光譜儀一般有光源（X-射線管）、樣品室

分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成。