3M氟化液FC-40是無色透明全氟化學(xué)品，具有良好的化學(xué)惰性、電氣絕緣性能、熱傳導(dǎo)性和獨特的第表面張力廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造廠作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應(yīng)用于蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、測試設(shè)備及其他設(shè)備。因為FC-40是單一組分，所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過期。FC-40沸點高，其隨時間的揮發(fā)也比較少。

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沉積用的溶劑 　　

3M Novec7100電子氟化液具有低黏度及低表面張力的特性，所以3M Novec7100電子氟化液具有高潤濕性與易流動的性能，其產(chǎn)品表現(xiàn)與PF-5060DL很類似。因此，3M Novec7100電子氟化液對全氟聚醚(PFPE)潤滑劑，能有效的溶解制程中所需之添加物。

氟溶劑的特征

全氟溶劑的密度大于普通有l機溶劑, 沸點范圍大, 是一種高密度, 無色無毒, 具有高度熱穩(wěn)定性的液體, 其特征是低折射率, 低表面張力和低介電常數(shù)。全氟溶劑是氣體的極l好溶劑,能溶解大量的氫氣, 氧氣, 氮氣和二氧化碳等, 但對于普通有l機溶劑和有機化合物溶解性卻很差

電子氟化液是一種無色無味的液體物質(zhì),清澈透明低沸點氟化液，用于清洗領(lǐng)域能快速干燥。具有優(yōu)異的環(huán)保性、安全性不燃，極低的表面張力、對極細(xì)空隙的滲透力以及材料相容性。電子氟化液是替代鹵素產(chǎn)品：如三氯l乙烯、二l氯甲烷，三l氯甲烷等，替代易l燃危險化學(xué)品：如白電油、甲l醇等產(chǎn)品的理想清洗劑替代品。具有優(yōu)異的環(huán)保性、安全性不燃，極低的表面張力、對極細(xì)空隙的滲透力以及材料相容性。