一般三坐標(biāo)校準(zhǔn)保養(yǎng)過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關(guān)備份文件

2、清理三坐標(biāo)導(dǎo)軌

3、檢查外罩

4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管

5、檢查氣體過濾機(jī)構(gòu)，并對(duì)之進(jìn)行基本保養(yǎng)和維護(hù)

6、檢查z軸安全保護(hù)裝置，檢查氣動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)

7、檢查和清洗氣浮軸承

8、檢查調(diào)整電氣和機(jī)械行程開關(guān)

9、檢查和調(diào)整傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)

10、檢查和調(diào)整測量機(jī)水平

11、檢查和調(diào)整三坐標(biāo)橫梁與xY工作平面的平行

12、建議用激光干涉儀檢測和補(bǔ)償測量機(jī)各軸誤差

三坐標(biāo)測量機(jī)校準(zhǔn)測針時(shí)，需注意的問題

測針更換。因?yàn)闇y針長度是測頭自動(dòng)校準(zhǔn)的重要參數(shù)，如果自動(dòng)更換校準(zhǔn)錯(cuò)誤，就會(huì)造成測針的非正常碰撞，輕者碰壞測針，重則造成測頭（傳感器）損壞。測針更換過程中如果測頭艙盒偏離原來位置，可以初始化測針架坐標(biāo)系再重新建立，如果測頭太重，失去平衡，可以在測頭的相反方向嘗試加配重塊來解決。

三坐標(biāo)測量儀觸發(fā)使測頭分為機(jī)械接觸式測頭與電氣接觸式測頭。

1、機(jī)械接觸式測頭

　　接觸式測頭又稱為“剛性測頭”、“硬測頭”，一般用于“靜態(tài)”測量，大多作為接觸元件使用。這種測頭沒有傳感系統(tǒng)，無量程、不發(fā)訊，只是一個(gè)純機(jī)械式接觸頭。機(jī)械接觸式測頭主要用于手動(dòng)測量。由于人工直接操作，故測頭的測量力不易控制，只適于作一般精度的測量。由于其明顯的缺點(diǎn)，目前這種測頭已很少使用。