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拋光時間。要得到好的拋光效果,就需要花費(fèi)一定的時間。若拋光時間太短,只能獲得沒有光澤的梨皮狀表面。若時間過長,不僅溶解損失增大,而且加工表面會出現(xiàn)污點(diǎn)或斑點(diǎn)。因此存在著一個適當(dāng)?shù)臅r間范圍,它受材料、拋光液的組成及拋光溫度等因素的影響,通常難以預(yù)測,除用實驗測定外,沒有其他方法。化學(xué)拋光中往往產(chǎn)生氫氣,這是拋光具有氫脆敏感性材料時必須注意的問題。另外,拋光液溫度高達(dá)100~200℃時,還會產(chǎn)生退火作用。為了把氫脆和退火作用的影響減小到,就必須在適宜的溫度范圍內(nèi)選擇盡可能短的拋光時間。
鋁合金產(chǎn)品傳統(tǒng)的三酸拋光的化學(xué)工藝配方為:磷酸80%,硫酸10%,10%。目前磷酸的價格為5400元/噸,硫酸700元/噸,2300元/噸(以上價格僅作為參考)。那么我們傳統(tǒng)的配方成本為:磷酸800ml*1.70*5.40=7.344元,硫酸100ml*1.84*0.7=0.13元,100ml*1.40*2.30=0.32元,那么一升拋光液合計的成本為7.8元。目前我公司研制成功的OY系列鋁處理化學(xué)拋光工藝,磷酸為500ml/l,硫酸500ml/l,光亮劑20ml/l, 成本核算為:500ml*1.70*5.40=4.59元;硫酸500*1.84*0.7=0.644;光亮劑計0.65元,合計5.85元。因此,我公司OY系列鋁處理工藝,成本足足下降了20%。而且OY系列產(chǎn)品在處理鋁的時候,無任何黃煙,大大的改善了生產(chǎn)環(huán)境;處理成品率可以在到98%以上,幾乎無因為拋光而造成的報廢品;光亮度好,與三酸處理無異;維護(hù)管理容易,溶液性能穩(wěn)定。因此,我公司極力推薦使用本產(chǎn)品。
依據(jù)機(jī)械加工原理、半導(dǎo)體材料工程學(xué)、物力化學(xué)多相反應(yīng)多相催化理論、表面工程學(xué)、半導(dǎo)體化學(xué)基礎(chǔ)理論等,對硅單晶片化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)機(jī)理、動力學(xué)控制過程和影響因素研究標(biāo)明,化學(xué)機(jī)械拋光是一個復(fù)雜的多相反應(yīng),它存在著兩個動力學(xué)過程:(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進(jìn)行氧化還原的動力學(xué)過程。這是化學(xué)反應(yīng)的主體。(2)拋光表面反應(yīng)物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應(yīng)的硅單晶重新出來的動力學(xué)過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。硅片的化學(xué)機(jī)械拋光過程是以化學(xué)反應(yīng)為主的機(jī)械拋光過程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過程中的化學(xué)腐蝕作用與機(jī)械磨削作用達(dá)到一種平衡。如果化學(xué)腐蝕作用大于機(jī)械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機(jī)械磨削作用大于化學(xué)腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。