低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)勝的精密五金蝕刻挑選比。但相對于干式精密五金蝕刻，除了無法界說較細的線寬外，濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點：1) 需花費較高成本的反響溶液及去離子水;濕式精密五金蝕刻進程可分為三個過程：1) 化學精密五金蝕刻液分散至待精密五金蝕刻資料之外表;2) 精密五金蝕刻液與待精密五金蝕刻資料發(fā)作化學反響;

影響精密五金蝕刻的要素許多，下面概述幾點：

1)蝕刻方式：浸泡和鼓泡式蝕刻會構成較大的精密五金蝕刻，潑濺和噴淋式蝕刻精密五金蝕刻較小，尤以噴淋蝕刻效果好。

2)蝕刻液的種類：不一樣的蝕刻液化學組分不一樣，其蝕刻速率就不一樣，蝕刻系數(shù)也不一樣。例如：酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)通常為3，堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數(shù)可抵達4。近期的研討標明，以肖酸為根底的蝕刻系統(tǒng)能夠做到幾乎沒有精密五金蝕刻，抵達蝕刻的線條側壁靠近垂直。這種蝕刻系統(tǒng)正有待于開發(fā)。

顯影：在濃度為1～1.2%碳酸鈉溶液中進行顯影，將曝光部分 的光刻油墨感光膜去掉，將需要蝕刻的金屬部分顯露出來;

烘干：將顯影后的坯料放入烘箱進行烘烤;

蝕刻：將顯影并烘干后的坯料放入的噴淋蝕刻機中，采用噴淋 三氯化鐵蝕刻液的蝕刻方式，對坯料進行局部快速蝕刻，蝕刻溫度 25～40℃，時間為4～10min，三氯化鐵蝕刻液組成為：水1000g，無 水三氯化鐵300～340g，磷酸80～100g，溶解后濃度為40～42波美度;