溫濕度

  潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。高1效送風(fēng)口產(chǎn)品可分為兩大類：一、可更換過濾器形式：二、一次性風(fēng)口形式產(chǎn)品功能：1、用于不同等級和多樣維護結(jié)構(gòu)的潔凈室。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別 是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

無塵車間

1. 空氣潔凈高度的房間或區(qū)域宜布置在人員少到達的地方，并宜靠近空調(diào)機房。7．其他測試：溫度、相對濕度、室內(nèi)加熱與冷卻容量、噪聲值、光照度、振動值。不同潔凈級別的房間或區(qū)域宜按空氣潔凈度的高低由里及外布置；潔凈度相同的房間或區(qū)域的布置則宜相對集中。潔凈度不同的房間之間相互聯(lián)系時，要防止交叉污染的措施，如氣閘室、空氣吹淋室、緩沖間或傳遞窗等。

2. 宜盡量減少潔凈區(qū)域的面積，潔凈室內(nèi)只應(yīng)放置必要的工藝設(shè)備和設(shè)施，室內(nèi)工作人數(shù)應(yīng)控制在z低限度。同時，還應(yīng)考慮到使原材料、半成品和成品存放區(qū)面積與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。

3. 根據(jù)需要合理布置輔助車間。清洗工具洗滌、存放室、維修保養(yǎng)室均不宜設(shè)在潔凈生產(chǎn)區(qū)內(nèi)；潔凈工作服的洗滌、干燥室的潔凈等級一般可低于生產(chǎn)區(qū)一個級別，而無菌服裝的整理、滅菌室，其潔凈級別應(yīng)與生產(chǎn)區(qū)相同。

首1選技術(shù)人員在設(shè)計無塵車間需采取以下措施：

1.設(shè)計方案應(yīng)具有較好的適應(yīng)性(靈活性)，它是實驗性車間必須考慮的問題(如單向流/非單向流的轉(zhuǎn)換、分區(qū)轉(zhuǎn)換等)。

2.廠址選擇、建筑布局與工藝設(shè)置的合理性，可以從根本上降低初投資及運行費用。

3.正確確定生產(chǎn)設(shè)備的熱負荷對選定空調(diào)制冷設(shè)備有直接關(guān)系。

4.室內(nèi)換氣次數(shù)和末級過濾器效率之間的組合(達到相同級別)需進行經(jīng)濟比較。

5.新風(fēng)集中處理有利于應(yīng)用地下水預(yù)冷、除塵和加濕。

6.空調(diào)和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術(shù)經(jīng)濟合理性。

7.工藝過程中和空調(diào)系統(tǒng)的熱回收是可以直接獲益的措施，因此應(yīng)充分利用這部分熱量，使之達到物盡其用的目的。