凈化工程技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用趨勢(shì)：對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。隨著我國(guó)人民生活水平提高，人們對(duì)生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求，用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術(shù)已開始進(jìn)入千家萬戶，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。

凈化工程的位置和總體布局可根據(jù)以下要求確定，并經(jīng)過技術(shù)和經(jīng)濟(jì)計(jì)劃的比較：遠(yuǎn)離鐵路，碼頭，機(jī)場(chǎng)，交通干線，工廠，倉庫，排放大量灰塵的堆場(chǎng)和有害氣體，以及其他嚴(yán)重空氣污染，振動(dòng)或噪音干擾的區(qū)域;應(yīng)安排在工廠環(huán)境清潔，人1流，物流不交叉或小截面;應(yīng)測(cè)量現(xiàn)有振動(dòng)源的振動(dòng)效應(yīng)，并與精密設(shè)備和儀器的允許振動(dòng)值進(jìn)行比較。環(huán)形滅火車道應(yīng)設(shè)置在凈化工程左右（可以使用交通道路），路面層應(yīng)選擇整體性能好，灰塵少的材料。

不同行業(yè)的車間凈化工程標(biāo)準(zhǔn)不一樣：在醫(yī)1療行業(yè)中對(duì)于潔凈標(biāo)準(zhǔn)要求高的主要是手術(shù)室的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，在溫度、濕度、空氣流通環(huán)境等都是需要有標(biāo)準(zhǔn)的，其一是為了病1人更好的康復(fù)，其二就是潔凈的空氣對(duì)細(xì)菌感1染的可能性大大降低。凈化標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于生物制藥1方面的做實(shí)驗(yàn)的地方對(duì)于凈化環(huán)境的一些要求，凈化設(shè)施選擇專門的氧氣的供應(yīng)裝置、隔離的服裝、等都是需要密閉實(shí)驗(yàn)安全達(dá)到凈化標(biāo)準(zhǔn)才可以使用的。

做凈化工程之車間無塵室裝修，車間無塵室的室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：(1)溫濕度要求：溫度一般為24 2℃，相對(duì)濕度為55 5%。(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)