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半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點
廢氣工程:由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。
空壓氣體工程:螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成:空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。
電子廠房裝修步驟中要還要注意的有
裝修中結(jié)構(gòu)材料的選擇也是很重要的,電子廠房裝修步驟中要還要注意的有1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、強度高。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的可選用防靜電型。3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。4.送風(fēng)口用不銹鋼或塑鋼框架美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵宜清潔。
廠房裝修注重消防報批 廠區(qū)方面的要求首先就是安全,為了安全一定不要忽視消防器材安裝,安裝消防設(shè)施前需要到當(dāng)?shù)氐南谰诌M(jìn)行報批,工程完工后還需要報審。一般報批消防手續(xù)需要10天左右才可以完成,所以在裝修前應(yīng)先找消防公司進(jìn)行此項工程的洽商。在現(xiàn)代的廠房裝修中對消防的要求也有一定的規(guī)范,如果廠房要吊頂,場內(nèi)所有的噴口一定要漏出吊頂一定尺寸,而且要保持水平。
生物潔凈室使用注意事項
潔凈室使用的木材的含水率不應(yīng)大于16%,并且不得外露使用。由于潔凈室換氣次數(shù)大,相對濕度低,如大量使用木材,易干裂、變形、松動、產(chǎn)生灰塵等,即使用也要局部使用,并且一定要做好防腐防潮處理。一般潔凈室需用石膏板時必須用防水石膏板,而對于生物潔凈室由于經(jīng)常用水擦洗和用消毒液沖洗,即使防水石膏板也要受潮變形,不耐沖洗,所以規(guī)定生物潔凈室不應(yīng)采用石膏板作罩面材料。