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擴散硅壓力變送器
擴散硅壓力變送器具有工作可靠、性能穩(wěn)定、安裝使用方便、體積小、重量輕、性能價格比高等點,能在各種正負壓力測量中得到廣泛應用。擴散硅壓力變送器采用進口擴散硅或陶瓷芯體作為壓力檢測元件,傳感器信號經(jīng)電子放大器轉(zhuǎn)換成0-10mA或4-20mA統(tǒng)一輸出信號。壓力變送器可替代傳統(tǒng)的遠傳壓力表,霍爾元件、差動變送器,并具有DDZ-Ⅱ及DDZ-Ⅲ型變送器性能。
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擴散硅壓阻傳感器的發(fā)展與現(xiàn)狀
固態(tài)壓阻傳感器自 1967年美國的庫利特半導體公司首先為波音公司研制 , 成功用于風洞測試 , 1970年法國斯魯母貝格公司生產(chǎn)并用于協(xié)和式大型客機和阿波羅飛船中 , 國外將其首先用于航空和宇航等軍事工業(yè)中 , 由于其自身的優(yōu)點十分引人注目 , 因此 , 近年來 , 美、 日、 德、 法、 英等許多儀器儀表制造廠紛紛研制生產(chǎn)。我國從七十年代初開始研究并取得了較好的成果 , 壓阻傳感器本身已經(jīng)歷了從結(jié)構(gòu)型到物性型至今天的智能型三個發(fā)展階段。 隨著科學技術(shù) , 特別是微電子和計算機技術(shù)的發(fā)展 , 壓阻傳感器的靈敏度、 精度和可靠性及信息傳輸功能大大提高 , 從而擴大了人們對各種現(xiàn)象和過程的觀測范圍和控制范圍。 由于擴散硅壓阻傳感器具有廣泛的應用前景 , 因而壓阻傳感器的競爭也十分激烈。 元器件的品種增多 , 溫壓范圍已經(jīng)拓展: 已有微壓、 表壓、 高壓、 絕壓、 差壓等力敏元件及其配套儀表問世。每年世界性固態(tài)壓力傳感器專利有幾十項。 潛在功能比較大 , 既可以代替人類五官感覺的功能 , 也能檢測人類不能感覺的信息。
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擴散硅傳感器的工作原理
擴散硅傳感器選型作為一種較高的性能的一次壓力測量產(chǎn)品,可以很方便地進行放大處理,裝配成標準信號輸出的設備,廣泛應用于石油、化工、冶金、電力、航空、汽車、HVAC等行業(yè)的過程控制。
被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與TBP-1擴散硅無腔壓力傳感器介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
擴散硅壓力傳感器有什么特點
1、適合制作小量程的傳感器 硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區(qū),制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。 2、輸出靈敏度高 硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。 3、精度高 由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn),沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。 擴散硅壓力傳感器應用場合有很多,比如供熱、制冷、煤炭以及石油等領域,都會用到擴散硅壓力傳感器,它具有輸出靈敏度高等特點。