特種氣體種類：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體的儲存注意事項：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時，無論內(nèi)容量多少，在該容器儲存場地2m內(nèi)，嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。

 特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應(yīng)占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。滅菌特種氣體可殺滅細菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

 電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種標準氣體嚴格意義上應(yīng)稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質(zhì)之一，故又稱為氣體標準物質(zhì)。特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；