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由于大尺寸 LaAlo3晶體生長后熱應(yīng)力和后期切割、研磨所產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力較大,加上晶棒的顏色較深。因此要消除上述因素,必須對晶體進(jìn)行退火處理。合瑞達(dá)是現(xiàn)有鋁酸鑭單晶非常豐富的生長廠家,每月能生產(chǎn)10~20公斤,可以提供棒、切割毛坯片及外延拋光基片,能滿足市場上的各種需求。合瑞達(dá)是現(xiàn)有鋁酸鑭單晶非常豐富的生長廠家,每月能生產(chǎn)10~20公斤,可以提供棒、切割毛坯片及外延拋光基片,能滿足市場上的各種需求。
鋁酸鑭(LaAlO3)晶體的顏色與原料的純度有著直接關(guān)系。若采用純度≤99.9%原料或在生長過程中原料被污染,長出的晶體顏色較深,甚至是茶色。但采用高純原料≥99.999%料時,長出的晶體呈淺黃色,且在真空氣氛下退火,顏色更淡,近似白色。LaAlo3晶體是以一定化學(xué)配比的La2O3和A2O3為原料,在2100℃下用提拉法生長的,然后經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)工藝切割和拋光制成5×10m2的 LaAlo3晶片,晶向為[01].無退火的LaAO3晶體呈淡黃色透明,在氧氣氛下退火后呈棕色。
鋁酸鑭(LaAlO3)晶體產(chǎn)品規(guī)格:常規(guī)尺寸:5x5x0.5mm、10 x 10 x 0.5 mm、dia1″x0.5mm、dia2″x0.5mm ;常規(guī)晶向:<100>、<110>、<111>;晶向公差: /-0.5度;拋光情況:單拋或雙拋 (<110> Ra<15A,<100>和<111> Ra<5A)。注:可按照客戶要求加工尺寸及方向。LaAlO3晶體的熔點高,生長大尺寸φ80的LaAlo3晶體溫度梯度一定要合適,既要保證晶體生長的驅(qū)動力,又要避免溫度梯度過大,導(dǎo)致銥坩堝熔化。