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鍍鈦廠家依據(jù)技術請求挑選鍍制方法及方法，如電阻蒸騰（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材原料及尺度多弧源（Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等），真空丈量可挑選數(shù)字式智能真空計及其優(yōu)異的丈量規(guī)管，及其它丈量儀器，如主動壓強操控儀等。膜厚丈量可選用方塊電阻丈量儀，透過率計等。充氣方法可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 針閥及相應的充氣閥門，并可挑選多路充氣管路及相應流量參數(shù)。真空鍍鈦廠家依據(jù)需烘烤的構造提出烘烤溫度、原料以及所需裝備相應儀表丈量。真空鍍鈦廠家依據(jù)設備使用特色，可挑選手動、半主動、全主動或其組合的操控方法。完善的報警體系，對真空室體、分散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警