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廣州旗興企業(yè)--無塵車間廠家,恒溫恒濕車間工程,環(huán)境模擬實驗室工程,恒溫恒濕實驗室
無塵潔凈室中各種凈化設(shè)備需求做到哪幾點?
在無塵潔凈室中,不僅要對施工技術(shù)和施工人員做一定的規(guī)范,也要對無塵潔凈室中各種凈化設(shè)備提出一些條件,主要需求做到一下幾點:
??1、對無塵潔凈室中各種凈化單元布局(安置和尺度)應(yīng)加以改善,使之向有利于減小體積,進(jìn)步分配均勻性,而又不添加阻力的方向開展。
??2、在無塵潔凈室中,不影響噪聲極限的前提下,進(jìn)步風(fēng)機(jī)壓頭有利于延伸過濾器的使用壽命,此外風(fēng)機(jī)應(yīng)可以變速運轉(zhuǎn)。
??3、無隔板過濾器和新式空氣分配設(shè)備可構(gòu)成即節(jié)能又靈敏的無塵車間體系。
??4、技術(shù)設(shè)備的規(guī)劃和排熱辦法應(yīng)親近聯(lián)系,排熱以開展水冷為主。
1、無塵室凈化車間施工的規(guī)劃方案應(yīng)具有較好的適應(yīng)性(靈敏性),它是實驗性車間有必要思考的疑問(如單向流/非單向流的變換、分區(qū)變換等)。
??2、廠址挑選、修建規(guī)劃與技術(shù)設(shè)置的合理性,可以從根本上下降初出資及運轉(zhuǎn)費用。
??3、正確斷定出產(chǎn)設(shè)備的熱負(fù)荷對選定空調(diào)制冷設(shè)備有直接關(guān)系。
??4、無塵室凈化車間室內(nèi)換氣次數(shù)和末級過濾器功率之間的組合(到達(dá)一樣等級)需進(jìn)行經(jīng)濟(jì)對比。
??5、新風(fēng)會集處置有利于使用地下水預(yù)冷、除塵和加濕。
??6、空諧和凈化功用的別離有利于發(fā)揚(yáng)各自的技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理性。
??7、技術(shù)進(jìn)程中和空調(diào)體系的熱收回是可以直接獲益的辦法,因而應(yīng)充分利用這有些熱量,使之到達(dá)物盡其用的意圖。
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怎樣對無塵潔凈室中的溫濕度進(jìn)行控制?
??潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。3,減少潔凈室換氣次數(shù)在保證潔凈效果的前提下,減少換氣次數(shù)、送風(fēng)量是節(jié)能的重要手段之一。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)較佳濕度范圍為35—45%。
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什么是潔凈室的超凈工作臺?
超凈工作臺,也稱潔凈工作臺,在潔凈車間的檢驗室或潔凈實驗室中都有廣泛的應(yīng)用。潔凈工作臺是在操作臺面以上的空間局部形成無塵無菌環(huán)境的裝置,是凈化空調(diào)系統(tǒng)中游離于系統(tǒng)之外的一種凈化設(shè)備,。也就是說它的送風(fēng)、回風(fēng)不納入凈化空調(diào)系統(tǒng),只是在潔凈室內(nèi)自助循環(huán)的凈化設(shè)備。超凈工作臺,也有在非潔凈室內(nèi)使用的,但這樣他的初效過濾器和過濾器壽命將縮短。廣州旗興企業(yè)--無塵車間凈化工程,GMP車間施工,環(huán)境模擬實驗室工程,恒溫恒濕實驗室工程無塵潔凈室中的三塵是指哪三點。
潔凈工作臺的結(jié)構(gòu)與類型緊密相關(guān),把組成潔凈工作臺的各主要部件進(jìn)行不同的排列,就得到不同形式的潔凈工作臺,服務(wù)于不同的用途。不管是那種形式的潔凈工作臺,都是由風(fēng)機(jī)、過濾器、初效過濾器、殼體、臺面、紫外線燈(進(jìn)行起始或終了后的滅菌)、照明燈、調(diào)壓器、壓差顯示表等部件組成。1、潔凈棚又名潔凈工作棚(無塵棚、凈化棚、操作工作臺等),是指在潔凈室內(nèi)用防靜電網(wǎng)格簾或有機(jī)玻璃圍一個小空間,上方采用HEPA及FFU送風(fēng)單元組成一相對潔凈室較高凈化級別的空間,潔凈棚可配風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備。
潔凈工作臺一般分為水平平行流潔凈工作臺和垂直平行流潔凈工作臺,所采用的過濾器分為有隔板與無隔板兩種,有隔板厚度采用150MM厚度,無隔板采用100MM厚度,應(yīng)用不同的場合需求。目前,潔凈工作臺大多數(shù)能提供ISO5級(100級)的潔凈操作環(huán)境,對于要求在某一級別下的局部百級的操作環(huán)境,如果操作對象不大,也就是說所需操作空間不大的話,那么就可以采用在某一級別的潔凈室內(nèi)配置潔凈工作臺的方案,例如1000級以下的局部百級環(huán)境,那么就可以建造1000級潔凈室,在其內(nèi)部配置100級潔凈工作臺即可,根據(jù)操作工藝要求,可選配水平單向流或垂直單向流的工作臺。例如,在微電子行業(yè)的芯片生產(chǎn)過程中,對微粒的控制達(dá)到分子級,否則生產(chǎn)就無法進(jìn)行,或者生產(chǎn)出次品。