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特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì),它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體。
特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì),它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競(jìng)爭(zhēng)力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō),我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,中國(guó)特種功能電子氣體市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng),僅2016年,中國(guó)特種電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國(guó)家占據(jù)較好的地位。
氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類(lèi)別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過(guò)空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)?、?jīng)過(guò)焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來(lái)的普通純度的其它種類(lèi)氣體。自80年代1開(kāi)始,我國(guó)的氣體工業(yè)迅速發(fā)展,各類(lèi)純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問(wèn)世,其品種數(shù)目已與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家水平相近。隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競(jìng)爭(zhēng)力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō),我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。