靜電式凈化

工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場的作用下，不斷地向陽極運(yùn)動(dòng)。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。當(dāng)空氣中粉塵通過電場時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽極后釋放電荷。

缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除有毒氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國市場評(píng)為差凈化器。

化學(xué)式甲醛清除劑

工作原理：是采用化學(xué)物質(zhì)和甲醛進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，達(dá)到清除甲醛的目的1、化學(xué)反應(yīng)類：與甲醛發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成二氧化碳和水，如氨水等；2、生物類：由能與甲醛反應(yīng)的生物制劑制成，如尿素、大豆蛋白、氨基酸等；對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。3、植物類：由植物提取物制成，如蘆薈、茶葉提取物等；4、封閉類：由成膜物質(zhì)制成，形成一層薄膜阻止甲醛釋放，如幾丁聚糖、液體石蠟等缺點(diǎn)：一,化學(xué)反應(yīng)過后生成的物質(zhì)很可能帶來二次污染. 實(shí)踐過程中常常出現(xiàn)二次檢測超標(biāo)的現(xiàn)象二是是在不改變化學(xué)成分的基礎(chǔ)上吸收甲醛，降低空氣中的甲醛含量，但是這樣的方式治標(biāo)不治本，甲醛容易再次釋放出來。 

復(fù)合式(Mixed Type)

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。而每小時(shí)換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān)，如吊頂?shù)母叩?，因此不適合用來表示單向流。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。