相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：不攜入,在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理； 2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。 4）機器及材料帶進無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進入無塵室。5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：排除/除去，在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是肯定理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。