真空泵維修視頻在信息薄膜加工中的應(yīng)用

真空技術(shù)在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近半個(gè)世紀(jì)的歷史表明,電子學(xué)器件的發(fā)展對人類社會(huì)起了很大的推動(dòng)作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對科學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)的發(fā)展起了積極的促進(jìn)作用。電子管的誕生是真空科學(xué)技術(shù)充分發(fā)展的結(jié)果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細(xì)加工高精技術(shù)的提高,其中很多加工過程都與真空技術(shù)有關(guān)。

微電子器件是現(xiàn)代高速計(jì)算機(jī)和個(gè)人計(jì)算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國家,微電子和計(jì)算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前位。在電子工業(yè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

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早用于廣播、通信和雷達(dá)的電子器件是真空電子管,主要是控制由陰極發(fā)射到真空中的自由電子,用于信號(hào)的振蕩、調(diào)制、發(fā)射、檢測、放大、存儲(chǔ)和加工.電子管器件的制造,要求真空衛(wèi)生和真空純潔,微電子器件的產(chǎn)生是建立在高純鍺、硅材料的基礎(chǔ)上的，在材料和器件加工過程中，要求保持比高純還好的半導(dǎo)體純和高度有序的晶體結(jié)構(gòu)。

而微電子器件的下一代的納米電子器件，要求所用材料和組裝加工過程應(yīng)該好于半導(dǎo)體純，更少的雜質(zhì)和缺陷，更完善的晶體結(jié)構(gòu)，所以在研究納米電子器件時(shí)，將更多地采用高真空，甚至超高真空進(jìn)行材料制備和器件組裝。

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近些年北京大學(xué)和科學(xué)院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室重點(diǎn)研究有機(jī)復(fù)合薄膜的超高密度信息存儲(chǔ)器件，其制備的關(guān)鍵技術(shù)是納米厚度的高質(zhì)量功能薄膜。當(dāng)今的薄膜形成過程中能夠保持真空純潔環(huán)境，故可以得到高質(zhì)量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術(shù)主要有蒸發(fā)、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團(tuán)束鍍等。

在分析了真空方法制備有機(jī)功能薄膜的幾種技術(shù)后，經(jīng)比較認(rèn)為，離子團(tuán)束（ICB）沉積技術(shù)用于制備有機(jī)功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發(fā)經(jīng)過絕熱膨脹過程，電離過程形成荷電原子團(tuán)，經(jīng)歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長，形成高質(zhì)量的薄膜，通過控制絕熱過程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無定形薄膜。

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