活塞真空泵維修的保養(yǎng)維護(hù)方法

針對活塞真空泵維修使用過程中出現(xiàn)的一些問題，活塞真空泵維修專家總結(jié)出了以下關(guān)于真空鍍膜機真空泵的日常保養(yǎng)以及維護(hù)方法。

1、開動電機，當(dāng)真空泵正常運轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和滑閥真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負(fù)荷情況。

2、盡量控制真空泵的流量和揚程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證真空泵在點運轉(zhuǎn)，才能提高節(jié)能的效果。

3、真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35℃，上至溫度不得超過80℃。

4、如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。

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活塞真空泵維修薄膜加工中的應(yīng)用

微電子器件是現(xiàn)代高速計算機和個人計算機的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國家,微電子和計算機工業(yè)已經(jīng)超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前沿。在電子工業(yè)和計算機工業(yè)的發(fā)展中,活塞真空泵維修科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

微電子器件的發(fā)展,將推動人類社會更快地進(jìn)步。微電子器件的發(fā)展趨勢是大規(guī)模集成電路,集成度越來越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越來越小。其規(guī)律是莫爾（Moore）定律所描述的,每18個月同樣大小芯片上的元件數(shù)增加一倍。過去20年是這樣,電子學(xué)家預(yù)言,未來的15年仍是這樣。

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活塞真空泵維修的保養(yǎng)小竅門

真空鍍膜產(chǎn)品長期暴露在空氣中，面對酸堿等強腐蝕性物質(zhì)的接觸，還是難以抵擋。因此，平時保養(yǎng)維護(hù)時，盡量不選用含強酸強堿或去污能力強的清洗劑，如潔廁精，脫漆劑，金屬清洗劑等，可以選用工業(yè)酒精用絨布輕柔擦拭；如果表面有污垢，也要選用弱酸弱堿溶劑來處理。

此外，如果長時間暴露在惡劣環(huán)境中，或與腐蝕性液體長時間接觸，PVD膜層也容易出現(xiàn)脫落等問題，如游泳池（含氟），海水（含鹽分多），高溫高濕（蒸汽）等環(huán)境中。

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輔助抽氣系統(tǒng)：

排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

排氣流程為：

    機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

機械泵：也叫前級泵，機械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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