相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

控制潔凈室環(huán)境中的微生物含量仍然是靠良好的空氣凈化系統(tǒng)設(shè)施，其過濾效率可以達(dá)到99.9%～99.99%地濾除空氣中的細(xì)菌和塵埃。生產(chǎn)中潔凈室內(nèi)溫度嚴(yán)格控制在18～26℃、相對(duì)濕度控制在45%～65%，以破壞有利于細(xì)菌的生長條件，加之消毒液的清潔消毒，環(huán)境控制效果令人滿意。關(guān)于日常消毒液消毒，每天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機(jī)臺(tái)、桌面、門窗、墻壁等，用3%～5%的來蘇兒對(duì)地面擦拭消毒。每3天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對(duì)潔凈室內(nèi)所有設(shè)施表面及頂棚、照明等表面進(jìn)行擦拭消毒， 3%～5%的來蘇兒對(duì)地面進(jìn)行消毒，目的是因生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)菌繁殖體，控制潔凈室內(nèi)微生物含量。這些措施僅能控制潔凈室內(nèi)空氣中的細(xì)菌量及雜類，如果霉菌較多，就要先用5%石碳酸噴灑室內(nèi)，然后用甲醛熏蒸才能達(dá)到無菌效果，而且只有這樣才能細(xì)菌、雜菌芽孢。每個(gè)生產(chǎn)周期結(jié)束，下個(gè)周期生產(chǎn)前對(duì)有無菌要求的潔凈室先進(jìn)行消毒液消毒，檢測潔凈室內(nèi)塵埃粒子數(shù)符合規(guī)定后，再對(duì)潔凈室內(nèi)進(jìn)行甲醛氣體熏蒸，從長期檢測的結(jié)果來看，這種環(huán)境滅菌方法效果很好。




實(shí)驗(yàn)室潔凈室裝修主要是通過應(yīng)用潔凈技術(shù)來實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的灰塵，含菌濃度，壓力以及溫濕度來達(dá)到實(shí)驗(yàn)室潔凈要求。潔凈度是指每升空氣中所含粒徑≥0.5um的塵粒的總顆粒。國內(nèi)和郭偉的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)有些不同，我國空氣潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)分為：100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)。國際標(biāo)準(zhǔn)則劃分為：1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)、4級(jí)、5級(jí)。