羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。
靠泵腔內(nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動氣體而實現(xiàn)抽氣的真空泵。
羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，
間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用，冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝，真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有必要高于其所對應(yīng)的飽滿蒸汽壓，因此冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度，才能保證泵體的正常作業(yè)。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分；抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：單級為6.5×102帕，雙級為1×103帕。

一、ZJ系列羅茨真空泵的概述：

ZJ系列羅茨真空泵，一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡茫址Q機(jī)械增壓泵，其優(yōu)點是在較低的入口壓力時具有較高的抽氣速率，它是目前獲得中、高真空的主要抽氣設(shè)備之一，其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，主要由一對同步高速旋轉(zhuǎn)的“8”字形轉(zhuǎn)子與兩個半圓形的泵腔組成（如圖一）。ZJ系列羅茨真空泵不能單獨排氣，必須與前級泵（如滑閥泵、旋片式真空泵、水環(huán)式真空泵、油環(huán)泵等）串聯(lián)使用，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵所能接受的壓力時才能開始工作，否則將會因過載和過熱而損壞。在前級泵進(jìn)氣口前面串聯(lián)上ZJ系列羅茨真空泵組成機(jī)組可提高前級泵的真空度，在有效范圍內(nèi)大大提高抽氣速率。如果環(huán)境不允許有污染，應(yīng)該選擇無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。ZJ系列羅茨真空泵的極限壓力由前級泵決定，技術(shù)參數(shù)表中數(shù)據(jù)為標(biāo)準(zhǔn)配置（配用雙級油封式機(jī)械真空泵）時的極限壓力。

ZJ系列羅茨真空泵在在很寬的壓強(qiáng)范圍（1~1×10 4pa)有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸氣不敏感，所以廣泛使用于真空澆鑄、真空熔煉、真空脫氣、真空鍍膜行業(yè)及化工行業(yè)的真空蒸餾、真空干燥等。

羅茨真空泵的傳動方式

羅茨真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機(jī)端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn) 自轉(zhuǎn)方式，用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求，轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度：普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。這種傳動方式的缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了羅茨真空泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，羅茨真空泵的偏向電動機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

另一種是電動機(jī)和傳動齒輪分別裝在轉(zhuǎn)子兩側(cè)。這種形式使羅茨真空泵的整體結(jié)構(gòu)勻稱，但主動軸扭轉(zhuǎn)變形較大。為保證轉(zhuǎn)子在運轉(zhuǎn)過程中的間隙均勻，要求軸應(yīng)有足夠的剛度，軸和轉(zhuǎn)子之間的聯(lián)接要緊固（目前已有轉(zhuǎn)子與軸焊或鑄成一體的結(jié)構(gòu)）。另外,要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩(wěn)定,好用一臺鍋爐專門給蒸汽噴射泵提供工作蒸汽,這樣蒸汽壓力就不會出現(xiàn)波動,確保真空泵性能穩(wěn)定。這種結(jié)構(gòu)拆裝都很方便，所以被廣泛采用。