實(shí)驗(yàn)室氣路安裝要求

1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。

2、氣路安裝管道不得和電纜、導(dǎo)電線(xiàn)路同架鋪設(shè)。

3、易1燃?xì)怏w，如乙1炔需要和其他氣體分開(kāi)單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門(mén)隔離，以方便對(duì)過(guò)濾裝置進(jìn)行維修。

5、高純氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門(mén)或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。

6、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門(mén)。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

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實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路

指氣瓶至儀器終端之間連接管線(xiàn)，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門(mén)-管線(xiàn)-過(guò)濾器-報(bào)警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實(shí)驗(yàn)室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動(dòng)調(diào)節(jié)閥來(lái)控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無(wú)縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門(mén)、壓力調(diào)節(jié)閥門(mén)、壓力表來(lái)指示氣體壓力。

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特種氣體使用安全

首先,應(yīng)對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過(guò)本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門(mén)應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門(mén)。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測(cè)手段,預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測(cè)器,監(jiān)控氣體泄漏?？扇夹詺怏w應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y(cè)器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過(guò)流開(kāi)關(guān)。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測(cè),防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。

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